Диффузионные насосы

ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ

Диффузионные (паромасляные) насосы – это оборудование, которое имеет возможность создавать, а также поддерживать средний и высокий вакуум в технологических системах на производствах, обеспечивая большую производительность откачки. Базой для работы диффузионного насоса служит диффузия газа в потоках паров, образующихся за счет кипения рабочей жидкости (в современных насосах рабочая жидкость является масло).

Конструкция диффузионного насоса представляет собой металлическую цилиндрическую чашу, в основе которой размещены ТЭНы для подогрева рабочего масла. От зоны подогрева отходят пароотводящих каналы, которые подают образованные пары масла в рабочих ступеней насоса. Каналы заканчиваются соплами для формирования потоков пара, которые захватывают молекулы откачиваемого газа. На внешней стороне стенок насоса расположен контур водного охлаждения.

Вакуум | Дифузійні насоси | vacuum | novations
Вакуум | Дифузійні насоси | vacuum | novations
Вакуум | Дифузійні насоси | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Молекулы газа из рабочей камеры при попадании в насос увлекаются плотными направленными потоками паров масла и перемещаются в зону сжатия. Пары масла, при контакте с охлажденными водой стенками, конденсируются и стекают по ним в камеру нагревателя, где снова подогреваются и повторно образуют пару. А молекулы газа переходят по соплу к следующей степени насоса, в которой с ними происходят те же процессы что и в предыдущей. После каждой степени захваченный газ все больше сжимается. Это происходит до тех пор, пока молекулы не попадут в камеру откачки, зону с максимальным давлением, где происходит их удаление форвакуумным насосом. Данная схема является универсальной, а размеры самого насоса определяют количество рабочих ступеней.

Преимущества:

Важнейшим преимуществом диффузных насосов является высокая производительность, возможность реализации больших скоростей откачки до десятков тысяч литров в секунду. Только паромасляные насосы могут работать с такими большими объемами рабочих камер, при этом позволяют получать предельный вакуум в диапазоне 10-8 мбар. Важным преимуществом является также простая конструкции и низкая стоимость данного типа насосов, обеспечивает пользователям легкость в эксплуатации и долговечность работы.

Недостатки:

К наиболее значимых недостатков в первую очередь относят большое потребление энергии. В наиболее производительных насосах потребления составляет около 1 – 1,5кВт на каждую тысячу литров в секунду скорости откачки. Необходимость водяного охлаждения и обязательное условие – вертикальная установка насоса, накладывает дополнительные ограничения на размещение, портативность и осторожность пользования данным типом оборудования.

Модель диффузионного насоса AX-65 высокопроизводительный насос с воздушным охлаждением. Конструкция вертикального ребристого котла и высокая мощность обеспечивают стабильную скорость подачи гелия. Данный тип насоса возможно заказать с холодной ловушкой или защитным экраном. Насос оснащен смотровым стеклом для контроля уровня жидкости.

Модельный ряд диффузионных насосов HS  доступные с размерами фланцев 2 – 35 дюйма. Недорогие насосы , которые обеспечивают высокую продуктивность, значительный диапазон рабочих давлений, возможность получения низкого обратного потока. Насосы данной серии  производятся с надежной тепловой защитой и опциональными быстроохлаждаемыми змеевиками. Модельный ряд  насосов HS  с размером фланцев 16-35дюймов поставляются с узлами: смотрового стекла для контроля заполнения и слива. Весь модельній ряд HS насосов доступны с фланцами ASA или ISO.

Модельный ряд диффузионных насосов VHS выпускается в размерах 4дюйма, 6дюймов, 10дюймов и 250мм, 400 мм, Насосы данной серии от компании Agilent считаются самыми быстрыми и самыми чистыми диффузионными насосами своего размера на сегодняшний день. Запатентованная серия VHS Bulge Contour удваивает улавливание газа и поддерживает более низкое давление. Все насосы серии VHS оснащены смотровым стеклом для непрерывного контроля заполнения и слива, а также простого обслуживания масляного насоса. Благодаря имеющимся на котлах ребрам, увеличивается площадь поверхности, чем продлевается срок службы рабочего масла. Гарантированая тепловая защита и качественное охлаждение катушек также являются стандартными опциями данного типа насосов. Данный тип насосов 4-дюймовые, 6-дюймовые и 10-дюймовые можно заказать с фланцами ASA или ISO, стандартными или расширенными холодными ловушками и различными рабочими напряжениями.

Ряд диффузионных насосов Agilent Technologies

Продуктивность 65 – 3 650 литров/секунд

Модельный рядAX-65HS-2VHS-4VHS-6VHS-250VHS-10
Продуктивность, литров/ секунд6516075015502 1253 650
Допустимая пропускная возможность, мбар-л / с0,30,82,03,23,58,4
Область рабочих давлений, Торр3x10-3 < 5x10-83.7x10-3 < 5x10-82x10-3 < 5x10-81.5x103 < 5x10-91.2 x 10-3 < 5x10-91.7x10-3 < 5x10-9
Допустимое давление форвакуумного насоса , при полной нагрузке системы, миллибар0.780.520.730.720.720.72
Величина паров рабочей жидкости при обратном потоке, применяя улавливатель для охлаждения, мг/см2/мин< 2x10-4< 1x10-3< 5x10-4< 5x10-4< 5x10-4< 5x10-4
Продуктивность низковакуумного насоса, м3 / ч0,258,517292951
Выход на штатный режим робота, минуты.71510101015
Продолжительность охлаждения, мин.101010101025
Необходимое количество рабочей жидкости, литры0.030.10.30.50.51
Мощность, Вт200/2504501 4502 2002 2004 400
Продуктивность охлаждения водой, л/ч диапазон температур 15-26°Сохлаждение воздухом2030505080
Вес насоса, килограммы3.62025343468

Продуктивность 4 500 – 28 000 литров/секунд

Модельный рядVHS-400HS-16HS-20HS-32NHS-35
Продуктивность, л/с4 5006 00010 00017 30028 000
Допустимая пропускная возможность, мбар-л / с8.412.716.740.033.0
Область рабочих давлений, Торр1,4x10-3 < 5x10-92x10-3 < 5x10-81,3 x10-3 < 5x10-81,7 x10-3 < 5x10-89x10-3 < 5x10-8
Допустимое давление низковакуумного насоса, при полной нагрузке системы, миллибар0.720.720.720.450.52
Величина паров рабочей жидкости при обратном потоке, применяя улавливатель для охлаждения, мг/см2/мин< 1 x 10-3< 1.5x10-3<1.5x10-4< 7x10-4< 5x10-4
Продуктивность низковакуумного насоса, м351136170510510
Выход на штатный режим робота, минуты.1530456060
Охлаждения, мин.254885180180
Необходимое количество рабочей жидкости, литры12.84.711.311.3
Мощность, Вт4 400Нет данных12 00024 00024 000
Продуктивность насоса (охлаждение - вода), лит/ч диапазон температур 15-26° С80300300800800
Вес насоса, килограммы75218364612680

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: