ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ
Диффузионные (паромасляные) насосы – это оборудование, которое имеет возможность создавать, а также поддерживать средний и высокий вакуум в технологических системах на производствах, обеспечивая большую производительность откачки. Базой для работы диффузионного насоса служит диффузия газа в потоках паров, образующихся за счет кипения рабочей жидкости (в современных насосах рабочая жидкость является масло).
Конструкция диффузионного насоса представляет собой металлическую цилиндрическую чашу, в основе которой размещены ТЭНы для подогрева рабочего масла. От зоны подогрева отходят пароотводящих каналы, которые подают образованные пары масла в рабочих ступеней насоса. Каналы заканчиваются соплами для формирования потоков пара, которые захватывают молекулы откачиваемого газа. На внешней стороне стенок насоса расположен контур водного охлаждения.
Молекулы газа из рабочей камеры при попадании в насос увлекаются плотными направленными потоками паров масла и перемещаются в зону сжатия. Пары масла, при контакте с охлажденными водой стенками, конденсируются и стекают по ним в камеру нагревателя, где снова подогреваются и повторно образуют пару. А молекулы газа переходят по соплу к следующей степени насоса, в которой с ними происходят те же процессы что и в предыдущей. После каждой степени захваченный газ все больше сжимается. Это происходит до тех пор, пока молекулы не попадут в камеру откачки, зону с максимальным давлением, где происходит их удаление форвакуумным насосом. Данная схема является универсальной, а размеры самого насоса определяют количество рабочих ступеней.
Преимущества:
Важнейшим преимуществом диффузных насосов является высокая производительность, возможность реализации больших скоростей откачки до десятков тысяч литров в секунду. Только паромасляные насосы могут работать с такими большими объемами рабочих камер, при этом позволяют получать предельный вакуум в диапазоне 10-8 мбар. Важным преимуществом является также простая конструкции и низкая стоимость данного типа насосов, обеспечивает пользователям легкость в эксплуатации и долговечность работы.
Недостатки:
К наиболее значимых недостатков в первую очередь относят большое потребление энергии. В наиболее производительных насосах потребления составляет около 1 – 1,5кВт на каждую тысячу литров в секунду скорости откачки. Необходимость водяного охлаждения и обязательное условие – вертикальная установка насоса, накладывает дополнительные ограничения на размещение, портативность и осторожность пользования данным типом оборудования.
Модель диффузионного насоса AX-65 высокопроизводительный насос с воздушным охлаждением. Конструкция вертикального ребристого котла и высокая мощность обеспечивают стабильную скорость подачи гелия. Данный тип насоса возможно заказать с холодной ловушкой или защитным экраном. Насос оснащен смотровым стеклом для контроля уровня жидкости.
Модельный ряд диффузионных насосов HS доступные с размерами фланцев 2 – 35 дюйма. Недорогие насосы , которые обеспечивают высокую продуктивность, значительный диапазон рабочих давлений, возможность получения низкого обратного потока. Насосы данной серии производятся с надежной тепловой защитой и опциональными быстроохлаждаемыми змеевиками. Модельный ряд насосов HS с размером фланцев 16-35дюймов поставляются с узлами: смотрового стекла для контроля заполнения и слива. Весь модельній ряд HS насосов доступны с фланцами ASA или ISO.
Модельный ряд диффузионных насосов VHS выпускается в размерах 4дюйма, 6дюймов, 10дюймов и 250мм, 400 мм, Насосы данной серии от компании Agilent считаются самыми быстрыми и самыми чистыми диффузионными насосами своего размера на сегодняшний день. Запатентованная серия VHS Bulge Contour удваивает улавливание газа и поддерживает более низкое давление. Все насосы серии VHS оснащены смотровым стеклом для непрерывного контроля заполнения и слива, а также простого обслуживания масляного насоса. Благодаря имеющимся на котлах ребрам, увеличивается площадь поверхности, чем продлевается срок службы рабочего масла. Гарантированая тепловая защита и качественное охлаждение катушек также являются стандартными опциями данного типа насосов. Данный тип насосов 4-дюймовые, 6-дюймовые и 10-дюймовые можно заказать с фланцами ASA или ISO, стандартными или расширенными холодными ловушками и различными рабочими напряжениями.
Ряд диффузионных насосов Agilent Technologies
Продуктивность 65 – 3 650 литров/секунд
| Модельный ряд | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Продуктивность, литров/ секунд | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2 125 | 3 650 |
| Допустимая пропускная возможность, мбар-л / с | 0,3 | 0,8 | 2,0 | 3,2 | 3,5 | 8,4 |
| Область рабочих давлений, Торр | 3x10-3 < 5x10-8 | 3.7x10-3 < 5x10-8 | 2x10-3 < 5x10-8 | 1.5x103 < 5x10-9 | 1.2 x 10-3 < 5x10-9 | 1.7x10-3 < 5x10-9 |
| Допустимое давление форвакуумного насоса , при полной нагрузке системы, миллибар | 0.78 | 0.52 | 0.73 | 0.72 | 0.72 | 0.72 |
| Величина паров рабочей жидкости при обратном потоке, применяя улавливатель для охлаждения, мг/см2/мин | < 2x10-4 | < 1x10-3 | < 5x10-4 | < 5x10-4 | < 5x10-4 | < 5x10-4 |
| Продуктивность низковакуумного насоса, м3 / ч | 0,25 | 8,5 | 17 | 29 | 29 | 51 |
| Выход на штатный режим робота, минуты. | 7 | 15 | 10 | 10 | 10 | 15 |
| Продолжительность охлаждения, мин. | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 25 |
| Необходимое количество рабочей жидкости, литры | 0.03 | 0.1 | 0.3 | 0.5 | 0.5 | 1 |
| Мощность, Вт | 200/250 | 450 | 1 450 | 2 200 | 2 200 | 4 400 |
| Продуктивность охлаждения водой, л/ч диапазон температур 15-26°С | охлаждение воздухом | 20 | 30 | 50 | 50 | 80 |
| Вес насоса, килограммы | 3.6 | 20 | 25 | 34 | 34 | 68 |
Продуктивность 4 500 – 28 000 литров/секунд
| Модельный ряд | VHS-400 | HS-16 | HS-20 | HS-32 | NHS-35 |
|---|---|---|---|---|---|
| Продуктивность, л/с | 4 500 | 6 000 | 10 000 | 17 300 | 28 000 |
| Допустимая пропускная возможность, мбар-л / с | 8.4 | 12.7 | 16.7 | 40.0 | 33.0 |
| Область рабочих давлений, Торр | 1,4x10-3 < 5x10-9 | 2x10-3 < 5x10-8 | 1,3 x10-3 < 5x10-8 | 1,7 x10-3 < 5x10-8 | 9x10-3 < 5x10-8 |
| Допустимое давление низковакуумного насоса, при полной нагрузке системы, миллибар | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.45 | 0.52 |
| Величина паров рабочей жидкости при обратном потоке, применяя улавливатель для охлаждения, мг/см2/мин | < 1 x 10-3 | < 1.5x10-3 | <1.5x10-4 | < 7x10-4 | < 5x10-4 |
| Продуктивность низковакуумного насоса, м3/ч | 51 | 136 | 170 | 510 | 510 |
| Выход на штатный режим робота, минуты. | 15 | 30 | 45 | 60 | 60 |
| Охлаждения, мин. | 25 | 48 | 85 | 180 | 180 |
| Необходимое количество рабочей жидкости, литры | 1 | 2.8 | 4.7 | 11.3 | 11.3 |
| Мощность, Вт | 4 400 | Нет данных | 12 000 | 24 000 | 24 000 |
| Продуктивность насоса (охлаждение - вода), лит/ч диапазон температур 15-26° С | 80 | 300 | 300 | 800 | 800 |
| Вес насоса, килограммы | 75 | 218 | 364 | 612 | 680 |