Гелієвий течешукач це прилад для виявлення, локалізації та проведення кількісної оцінки течі в будь-яких ємностях, резервуарах і інших замкнутих об’ємах, в тому числі і в вакуумних системах. Робота гелієвого течешукача базується на газоаналітичному методі: проведенні якісного аналізу повітря на наявність в ньому пробного газу (гелію), що надходить через натікання, або витік.

Відкачний вакуумні пости – це повноцінні системи для створення глибокого вакууму. Вони укомплектовані всіма необхідними компонентами для отримання високих показників вакууму: вакуумними насосами різної продуктивності та типів застосування, датчиками вакууму та контролерами. Всі ці компоненти зазвичай зібрані в одному корпусі і можуть мати як єдину систему керування так і роздільну. Такі комплексні вакуумні системи забезпечують отримання граничного вакууму до 10^-10 мбар.

Вакуумметри – це прилади, які дозволяють вимірювати тиск газу менше однієї атмосфери. Виділяють наступні класи вакуумметрів:

• Датчики деформаційного типу. В такому приладі тиск вимірюють аналізуючи деформацію чутливого елементу.
• Датчики компресійного типу. Виміри проводяться опираючись на закони ізотермічних стиснень ідеального газу.
• Датчики теплового типу (термопарні). Базуються на аналізі залежності теплопровідності газів від тиску.
• Датчики іонізаційного типу. Вимірюється тиск шляхом аналізу іонізації газу.

Контролери для вакуумних датчиків – це прилади, які забезпечують живлення вакуумметрів, потрібний режим роботи, калібрування детекторів та виведення всієї важливої інформації про рівень вакууму в робочій системі на загальний дисплей. В контролерах вакуумних датчиків передбачена можливість вбудувати їх в приладову панель обладнання, яка вже використовується для створення вакуумної системи, або ж застосовувати контролери як окремий настільний прилад.

Вакуумна арматура це обладнання, яке застосовується для конструювання та облаштування роботи будь-якої вакуумної системи. До вакуумної арматури висувають певні вимоги: вона повинна бути міцною і надійною; герметичною і практичною; зносостійкою. Необхідну арматуру вибирають в залежності від виду вакуумної установки, а також від виконуваного технологічного процесу.

Вакуумні клапани – це компоненти, які структурують вакуумну систему забезпечуючи відсікання та герметизацію різних частин системи, що дозволяє організувати необхідну послідовність відкачування і напуску.