ВІДКАЧУВАЛЬНІ ВАКУУМНІ ПОСТИ
Відкачний вакуумні пости – це повноцінні системи для створення глибокого вакууму. Вони укомплектовані всіма необхідними компонентами для отримання високих показників вакуума: вакуумними насосами різної продуктивності та типів застосування, датчиками вакууму та контролерами. Всі ці компоненти зазвичай зібрані в одному корпусі і можуть мати як єдину систему керування так і роздільну. Такі комплексні вакуумні системи забезпечують отримання граничного вакууму до 10-10 мбар.
Відкачні пости можуть мати різні розміри і, для мобільності, монтуватись на рухомій платформі (системи на візочках).
Щоб досягати таких високих значень вакууму у відкачних постах поєднуються високовакуумний та форвакуумний насоси. Зазвичай, пост має єдину систему керування. Вмикається разом, однією кнопкою, і форвакуумний, і високовакуумний насоси. Залежно від області застосування, глибини вакууму і необхідної швидкості відкачки, обирають для роботи наступні форвакуумні насоси: масляний – пластинчато-роторний насос, або ж для роботи з сухим вакуумом використовують спіральний або мембранний насоси. Найпоширеніший високовакуумний насос, який застосовується зараз при конструюванні відкачних постів, це турбомолекурний насос. Обидва насоси (форвакуумний і високовакуумний) розміщуються в загальному корпусі і необхідною вакуумною арматурою, щоб гарантувати надійну та безпечну роботу всього поста.
У випадку, коли в якості високовакуумного насосу використовується турбомолекурний носос, після вмикання контролер запускає його і починає відслідковувати навантаження. При досягненні форвакуумним насосом молекулярного потоку відкачування газу, турбомолекулярний насос розганяється до штатного режиму роботи, що забезпечує якісну і довгу службу відкачного посту.
Зазвичай пости також комплектуються широкодіапазонними вакууметрами та контролерами, які забезпечують контроль рівня досягнутого вакууму і виведення інформації на загальний дисплей. Важливою особливість роботи відкачних постів є можливість подачі інформаційного сигналу на додаткове обладнання. Наприклад: автоматичний запуск системи напилення при досягненні відкачним постом необхідного для робот рівня вакууму.
Модельний ряд і специфікація відкачні постів компанії Agilent Technologies
Відкачні пости серії TPS – Compact забезпечують відкачування безпосередньо після вмикання обладнання. Високопродуктивні системи призначені для отримання глибокого вакууму в камерах не дуже великого об’єму. Дані пости комплектуються сухими спіральними насосами для попередньої відкачки, що дозволяє отримати всі переваги безмасляної лінії: такий насос не газить і не вимагає частого обслуговування по заміні змащуючих рідин. Для високовакуумного насоса можливо використовувати оновлений турбомолекулярний насос серії TwisTorr, який дозволяє отримати великий коефіцієнт стиснення в системі, при цьому показує хороші результати по продуктивності. Для вимірювання тиску у вакуумній камері відкачні пости комплектуються широкодіапазонні вакуумметрами з діапазоном роботи від атмосфери до 5×10-9 мбар.
При повній комплектації і високих показниках робочих параметрів відкачні пости серії TPS – Compact мають невелику загальну масу, що забезпечує легкість і портативність даного обладнання.
Технічна специфікація
| TPS-Compact з турбомолекулярним насосом TwisTorr 84 FS | TPS-Compact с турбомолекулярним насосом TwisTorr 304 FS | |
|---|---|---|
| Конфігурація фланців | NW40/ISO63/CFF40/CFF63 | NW100/ISO160/CFF100/CFF160 |
| Продуктивність (по азоту), л/с | 40/77/40/77 | 250/280/250/280 |
| Допустимий вакуум, мбар | Для фланців NW40/ISO63 1х10-8 Для фланців CFF40/CFF63 1х10-9 | Для фланців NW100/ISO160 1х10-8 Для фланців CFF100/CFF160 1х10-9 |
| Вихід на штатний режим відкачки, с | 144 | 150 |
| Відкачка тестового об’єму (14л) | За 400с до 1,3х10-5мбар | За 200с до 1,3х10-5мбар |
| Канали отримання даних | RS 232 | RS 232 |
| Рекомендований вакуумметр | Активний вакуумметр типу FRG-700 (фланці:KF25 чи CFF40) діапазон роботи: 1000 - 5x10-9 мбар | Активний вакуумметр типу FRG-700 (фланці:KF25 чи CFF40) діапазон роботи: 1000 - 5x10-9 мбар |
| Програмне забезпечення | T - Plus | T - Plus |
| Відсікаючий клапан | наявний | наявний |
| Ваг, кг | 16.7 | 19.1 |
Відкачні пости серії Mini Task це продуктивні відкачувальні системи, які забезпечують високий вакуум в робочій камері до 10-9міллібар. Mini Task працюють на базі високовакумного турбомолекулярного насоса TwisTorr84FS і безмасляного діафрагмового насосу MD1, в якому роль поршня виконує гнучка пластина-діафрагма, що закріплена за краї і згинається під дією механізму важеля або змінного тиску середовища. При вигині діафрагми в одну сторону відбувається всмоктування газу, при вигині в іншу – нагнітання. Завдяки сухому форвакуумному насосу і оновленим турбомолекулярним насосам пости серії Mini Task дозволяють отримати при роботі всі плюси безмасленної відкачної системи: чиста робоча область, тривалий час служби до першого технічного обслуговування, забезпечення високих показників по тиску у вакуумній камері.
Невелика вага обладнання дозволяє переносити його в робочому просторі.
Технічна специфікація
| Конфігурація фланців | NW40 | ISO63 | CFF63 |
|---|---|---|---|
| Продуктивність (по азоту), л/с | 40 | 60 | 60 |
| Допустимий вакуум, мбар | 5х10-8 | ||
| Вихід на штатний режим відкачки, с | |||
| Відкачка тестового об’єму (1л) | |||
| Канали отримання даних | |||
| Рекомендований вакуумметр | |||
| Програмне забезпечення | |||
| Відсікаючий клапан | |||
Відкачні пости серії TPS-Mobile це модульні, настроювальні насосні системи високої продуктивності змонтовані на пересувному візку. В даних відкачних постах використовуються оновлені високовакуумні турбомолекулярні насоси малого і середнього розмірів: TwisTorr і Turbo-V. Для форвакуума можливий вибір насоса: або безмасляні спіральні серії IDP, або масляні пластинчато-роторні насоси серії DS, а також можливо вибрати конфігурацію з вмонтованим відсікаючим клапаном для форвакуумного насоса, що дозволяє отримати повний захист системи від закидання повітря в разі відключення живлення. Системи TPS-Mobile монтуються з різними вакуумметрами, які дозволяють фіксувати тиск в системі в будь-якому діапазоні. Мобільні відкачні пости даної серії підтримують стандарти напруги мережі по всьому світу і відповідають світовим стандартам безпеки.
Форвакуумні насоси для комплектації відкачних постів TPS-MOBILE:
Спіральні безмасляні насоси:
- Модель IDP-3. Продуктивність 50 літ / хв при 50Гц
- Модель IDP-7 Продуктивність 120 літ / хв при 50Гц
- Модель IDP-15 Продуктивність 214 літ / хв при 50 Гц
- Модель PTS-300 (з відсікаючим клапаном VPI). Продуктивність 250 літ / хв при 50 Гц
- Модель PTS-600 (з відсікаючим клапаном VPI). Продуктивність 420 літ / хв при 50 Гц
Масляні пластинчато-роторні насоси:
- Модель DS102. Продуктивність 95 літ / хв при 50Гц
- Модель DS202. Продуктивність 160 літ / хв при 50Гц
- Модель DS302. Продуктивність 237 літ / хв при 50Гц
- Модель DS402. Продуктивність 342 літ / хв при 50Гц
- Модель DS602. Продуктивність 504 літ / хв при 50Гц
Високовакуумні турбомолекулярні насоси для комплектації відкачних постів TPS-MOBILE:
- Модель TwisTorr74FS. Продуктивність 67 літ / хв по азоту.
- Модель TwisTorr304FS. Продуктивність 250 літ / хв по азоту
- Модель Turbo-V551Navigator. Продуктивність 550 літ / хв по азоту
Технічна специфікація
| TwisTorr74FS | TwisTorr304FS | Turbo-V551Navigator | |
|---|---|---|---|
| По азоту | 67 | 250 | 550 |
| Для безмасляного форвакуумного насоса | 5x10-9 | 5x10-10 | 5x10-10 |
| Для масляного форвакуумного насоса | |||
| Діапазон тисків 1.3x10-3 – 2.6x10-9 мбар | |||
| Діапазон тисків 1000 – 5x10-9 мбар | для ниьзкого вакуума - ConvecTorr з фланецм KF25 для високого вакуума - IMG-100 з фланем KF25 |
||
| Діапазон тисків 1000 – 2.6x10-9 мбар | |||
Відкачні пости серії TPS-FLEXY це гнучкі, безмасляні, модульні рішення,які адаптуються до різних завдань. Можливість зібрати власну відкачну вакуумну систему TPS-flexy на базі турбомолекулярного насоса TwisTorr74FS або TwisTorr304FS і сухого спірального форвакуумного насоса IDP-3 або IDP-7, або діафрагмового форвакуумного насоса MD-1. Відкачні пости даного типу також можуть комплектуватися контролером, такими що вбудовуються в систему ,або ж зовнішнім, для монтування в стійку. Контролер забезпечує зчитування показань вакуумметра. Модульна конструкція системи TPS-FLEXY дозволяє кожен компонент поста замінити окремо, що забезпечує просте оновлення конфігурації при зміні вимог до системи, а також легке і швидке технічне обслуговування на місці.
Технічна специфікація
| TPS-Compact с турбомолекулярним насосом TwisTorr 84 FS і діафрагмовим насосом MD-1 | TPS-Compact з турбомолекулярним насосом TwisTorr 84 FS і сухим спіральним насосом IDP-3 | TPS-Compact з турбомолекулярним насосом TwisTorr 304 FS FS і сухим спіральним насосом IDP-7 | |
|---|---|---|---|
| Конфігурація фланців | KF40/ISO63/CF63 | ISO63/CF63 | ISO100 |
| Продуктивність (по азоту), л/с | 38/52/52 | 57 | 250 |
| Допустимий вакуум, мбар | Для фланців KF40/ISO63 2х10-7 Для фланців CF63 5х10-8 | Для фланців ISO63 1х10-8 Для фланців CF63 1х10-9 | 5х10-9 |
| Вихід на штатний режим відкачки, с | 122 | 144 | 144 |
| Відкачка тестового об’єму (1л) | За 140с до 5х10-5 мбар | За 400с до 1,3х10-5 мбар | Немає даних |
| Відкачка тестового об’єму (14л) | Немає даних | Немає даних | За 160секунд до 1,3х10-5мбар |
| Канали отримання даних | RS 232 | RS 232 | RS 232 |
| Рекомендований вакуумметр | Немає даних | Немає даних | Активний вакуумметр типа FRG-700(фланци:KF25 чи CFF40) діапазон: 1000 - 5x10-9 мбар |
| Програмне забезпечення | T - Plus | T - Plus | T - Plus |
| Відсікаючий клапан | 7.7 | Немає даних | Немає даних |