Відкачувальні пости

ВІДКАЧУВАЛЬНІ ВАКУУМНІ ПОСТИ

Відкачний вакуумні пости – це повноцінні системи для створення глибокого вакууму. Вони укомплектовані всіма необхідними компонентами для отримання високих показників вакуума: вакуумними насосами різної продуктивності та типів застосування, датчиками вакууму та контролерами. Всі ці компоненти зазвичай зібрані в одному корпусі і можуть мати як єдину систему керування так і роздільну. Такі комплексні вакуумні системи забезпечують отримання граничного вакууму до 10-10 мбар.

Відкачні пости можуть мати різні розміри і, для мобільності, монтуватись на рухомій платформі (системи на візочках).

Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Щоб досягати таких високих значень вакууму у відкачних постах поєднуються високовакуумний та форвакуумний насоси. Зазвичай, пост має єдину систему керування. Вмикається разом, однією кнопкою, і форвакуумний, і високовакуумний насоси. Залежно від області застосування, глибини вакууму і необхідної швидкості відкачки, обирають для роботи наступні форвакуумні насоси: масляний – пластинчато-роторний насос, або ж для роботи з сухим вакуумом використовують спіральний або мембранний насоси. Найпоширеніший високовакуумний насос, який застосовується зараз при конструюванні відкачних постів, це турбомолекурний насос. Обидва насоси (форвакуумний і високовакуумний) розміщуються в загальному корпусі і необхідною вакуумною арматурою, щоб гарантувати надійну та безпечну роботу всього поста.

У випадку, коли в якості високовакуумного насосу використовується турбомолекурний носос, після вмикання контролер запускає його і починає відслідковувати навантаження. При досягненні форвакуумним насосом молекулярного потоку відкачування газу, турбомолекулярний насос розганяється до штатного режиму роботи, що забезпечує якісну і довгу службу відкачного посту.

Зазвичай пости також комплектуються широкодіапазонними вакууметрами та контролерами, які забезпечують контроль рівня досягнутого вакууму і виведення інформації на загальний дисплей. Важливою особливість роботи відкачних постів є можливість подачі інформаційного сигналу на додаткове обладнання. Наприклад: автоматичний запуск системи напилення при досягненні відкачним постом необхідного для робот рівня вакууму.

Модельний ряд і специфікація відкачні постів компанії Agilent Technologies

Відкачні пости серії TPS – Compact забезпечують відкачування безпосередньо  після вмикання обладнання. Високопродуктивні системи призначені для отримання глибокого вакууму в камерах не дуже великого об’єму. Дані пости комплектуються сухими спіральними насосами для попередньої відкачки, що дозволяє отримати всі переваги безмасляної лінії: такий насос не газит і не вимагає частого обслуговування по заміні змащуючи рідин. Для високовакуумного насоса можливо використовувати оновлений турбомолекулярний насос серії TwisTorr, який дозволяє отримати великий коефіцієнт стиснення в системі, при цьому показує хороші результати по продуктивності. Для вимірювання тиску у вакуумній камері відкачні пости комплектуються широкодіапазонні вакуумметрами з діапазоном роботи від атмосфери до 5×10-9 мбар.

При повній комплектації і високих показниках робочих параметрів відкачні пости серії TPS – Compact мають невелику загальну масу, що забезпечує легкість і портативність даного обладнання.

Технічна специфікація

 TPS-Compact з турбомолекулярним насосом TwisTorr 84 FSTPS-Compact с турбомолекулярним насосом TwisTorr 304 FS
Конфігурація фланцівNW40/ISO63/CFF40/CFF63NW100/ISO160/CFF100/CFF160
Продуктивність (по азоту), л/с40/77/40/77250/280/250/280
Допустимий вакуум, мбарДля фланців NW40/ISO63 1х10-8
Для фланців CFF40/CFF63 1х10-9
Для фланців NW100/ISO160 1х10-8
Для фланців CFF100/CFF160 1х10-9
Вихід на штатний режим відкачки, с144150
Відкачка тестового об’єму (14л)За 400с до 1,3х10-5мбарЗа 200с до 1,3х10-5мбар
Канали отримання данихRS 232RS 232
Рекомендований вакуумметрАктивний вакуумметр типу FRG-700 (фланці:KF25 чи CFF40) діапазон роботи: 1000 - 5x10-9 мбарАктивний вакуумметр типу FRG-700 (фланці:KF25 чи CFF40) діапазон роботи: 1000 - 5x10-9 мбар
Програмне забезпеченняT - PlusT - Plus
Відсікаючий клапаннаявнийнаявний
Ваг, кг16.719.1

Відкачні пости серії Mini Task це продуктивні відкачувальні системи, які забезпечують високий вакуум в робочій камері до 10-9міллібар. Mini Task працюють на базі високовакумного турбомолекулярного насоса TwisTorr84FS і безмасляного діафрагмового насосу MD1, в якому роль поршня виконує гнучка пластина-діафрагма, що закріплена за краї і згинається під дією механізму важеля або змінного тиску середовища. При вигині діафрагми в одну сторону відбувається всмоктування газу, при вигині в іншу – нагнітання. Завдяки сухому форвакуумному насосу і оновленим турбомолекулярним насосам пости серії Mini Task дозволяють отримати при роботі всі плюси безмасленної відкачної системи: чиста робоча область, тривалий час служби до першого технічного обслуговування, забезпечення високих показників по тиску у вакуумній камері.

Невелика вага обладнання дозволяє переноситься його в робочому просторі.

Технічна специфікація

Конфігурація фланцівNW40ISO63CFF63
Продуктивність (по азоту), л/с406060
Допустимий вакуум, мбар
2х10-7
5х10-8
Вихід на штатний режим відкачки, с
Не білше 122 с
Відкачка тестового об’єму (1л)
За 160с до 7х10-5мбар
Канали отримання даних
RS 232
Рекомендований вакуумметр
Активний вакуумметр FRG-700(фланці:KF25 чи CFF40) діапазон роботи: 1000 - 5x10-9 мбар
Програмне забезпечення
T - Plus
Відсікаючий клапан
7.5

Відкачні пости серії TPS-Mobile це модульні, настроюються насосні системи високої продуктивності змонтовані на пересувному візку. В даних відкачних постах використовуються оновлені високовакуумні турбомолекулярні насоси малого і середнього розмірів: TwisTorr і Turbo-V. Для форвакуум можливий вибір насоса: або безмасляні спіральні серії IDP, або масляні пластинчато-роторні насоси серії DS, а також можливо вибрати конфігурацію з вмонтованим відсікаючим клапаном для форвакумного насоса, що дозволяє отримати повний захист системи від закидання повітря в разі відключення живлення. Системи TPS-Mobile монтуються з різними вакуумметрами, які дозволяють фіксувати тиск в системі в будь-якому діапазоні. Мобільні відкачні пости даної серії підтримують стандарти напруги мережі по всьому світу і відповідають світовим стандартам безпеки.

Форвакуумні насоси для комплектації відкачних постів TPS-MOBILE:

Спіральні безмасляні насоси:

  • Модель IDP-3. Продуктивність 50 літ / м при 50Гц
  • Модель IDP-7 Продуктивність 120 літ / м при 50Гц
  • Модель IDP-15 Продуктивність 214 літ / хв при 50 Гц
  • Модель PTS-300 (з відсікаючим клапаном VPI). Продуктивність 250 літ / хв при 50 Гц
  • Модель PTS-600 (з відсікаючим клапаном VPI). Продуктивність 420 літ / хв при 50 Гц

Масляні пластинчато-роторні насоси:

  • Модель DS102. Продуктивність 95 літ / м при 50Гц
  • Модель DS202. Продуктивність 160 літ / м при 50Гц
  • Модель DS302. Продуктивність 237 літ / м при 50Гц
  • Модель DS402. Продуктивність 342 літ / м при 50Гц
  • Модель DS602. Продуктивність 504 літ / м при 50Гц

Високовакуумні турбомолекулярні насоси для комплектації відкачних постів TPS-MOBILE:

  • Модель TwisTorr74FS. Продуктивність 67 літ / м по азоту.
  • Модель TwisTorr304FS. Продуктивність 250 літ / м по азоту
  • Модель Turbo-V551Navigator. Продуктивність 550 літ / м по азоту

Технічна специфікація

 TwisTorr74FSTwisTorr304FSTurbo-V551Navigator
Продуктивність, л/м
По азоту67250550
Допустимий вакуум, мбар
Для безмасляного форвакуумного насоса5x10-95x10-105x10-10
Для масляного форвакуумного насоса
5x10-10
Вибор типу вакуумметра
Діапазон тисків
1.3x10-3 – 2.6x10-9 мбар
Для високого вакуума - IM-500 використовуються фланці KF25/KF40/CF40
Діапазон тисків
1000 – 5x10-9 мбар
Контролер XGS600
для ниьзкого вакуума - ConvecTorr з фланецм KF25
для високого вакуума - IMG-100 з фланем KF25
Діапазон тисків
1000 – 2.6x10-9 мбар
Широкодіапазонні вакуумметри FRG-700/FRG 720 з фланцями KF25/CF40

Відкачні пости серії TPS-FLEXY це гнучкі, безмасляні, модульні рішення,які адаптуються до різних завдань. Можливість зібрати власну відкачну вакуумну систему TPS-flexy на базі турбомолекулярного насоса TwisTorr74FS або TwisTorr304FS і сухого спірального форвакуумного насоса IDP-3 або IDP-7, або діафрагмового форвакуумного насоса MD-1. Відкачні пости даного типу також можуть комплектуватися контролером, такими що вбудовуються в систему ,або ж зовнішнім, для монтування в стійку. Контролер забезпечує зчитування показань вакуумметра. Модульна конструкція системи TPS-FLEXY дозволяє кожен компонент поста замінити окремо, що забезпечує просте оновлення конфігурації при зміні вимог до системи, а також легке і швидке технічне обслуговування на місці.

Технічна специфікація

 TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS и диафрагменным насосом MD-1TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS и сухим спиральным насосом IDP-3TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 304 FS FS и сухим спиральным насосом IDP-7
Конфігурація фланцівKF40/ISO63/CF63ISO63/CF63ISO100
Продуктивність (по азоту), л/с38/52/5257250
Допустимий вакуум, мбарДля фланців KF40/ISO63 2х10-7
Для фланців CF63 5х10-8
Для фланців ISO63 1х10-8
Для фланців CF63 1х10-9
5х10-9
Вихід на штатний режим відкачки, с122144144
Відкачка тестового об’єму (1л)За 140с до 5х10-5 мбарЗа 400с до 1,3х10-5 мбарНемає даних
Відкачка тестового об’єму (14л)Немає данихНемає данихЗа 160секунд до 1,3х10-5миллибар
Канали отримання данихRS 232RS 232RS 232
Рекомендований вакуумметрНемає данихНемає данихАктивний вакуумметр типа FRG-700(фланци:KF25 чи CFF40) діапазон: 1000 - 5x10-9 мбар
Програмне забезпеченняT - PlusT - PlusT - Plus
Відсікаючий клапан7.7Немає данихНемає даних