ВАКУУМНА АРМАТУРА ТА КОМПОНЕНТИ
Вакуумна арматура це обладнання, яке застосовується для конструювання та облаштування роботи будь-якої вакуумної системи. До вакуумної арматури висувають певні вимоги: вона повинна бути міцною і надійною; герметичною і практичною; зносостійкою. Необхідну арматуру вибирають в залежності від виду вакуумної установки, а також від виконуваного технологічного процесу.
Вакуумну арматуру за принципом роботи розділяють на:
- Арматуру для регулювання та ізолювання вакуумної системи. Це прилади чи елементи, які застосовуються для відсікання частини відкачуваного потоку або ізолювання повністю всієї вакуумної камери від системи відкачування. Використовуються також прилади, які організовують послідовності виконання процесів відкачування чи напуску повітря або газу в робочу камеру. До цього виду арматури відносяться: вакуумні клапани, вакуумні затвори, різні натікачі та інше.
- Арматура для вакуумних з’єднань, це переважно конструкційні базові елементи будь-якої вакуумної системи, які використовується для під’єднання різних вузлів системи чи додаткового обладнання. До них відносяться: різні фланці, фітинги, гофри, заглушки, сильфони, ущільнювачі, труби, перехідники, розгалужувачі та інші елементи вакуумних з’єднань.
Основні параметри, які потрібно враховувати при виборі арматури для регулювання та ізолювання вакуумної системи це: забезпечення пропускної здатності, можливість відсікання потоку, герметичність, бажаний тип ущільнення, можливість дистанційного контролю та інше.
Арматура для вакуумних з’єднань, найчастіше це роз’ємні фланці, на сьогоднішній день, має такі стандарти: KF, ISO, CF, QCF. Стандарт ISO-KF (NW) використовуються для фланців з резиновим ущільненням (еластомер), даний матеріал має гарну зносостійкість, довговічність експлуатації та стійкий до стиснення. Фланці, виготовлені за цим стандартом, зазвичай використовуються для систем низького та глибокого вакууму. Стандарти CF- QCF використовуються для фланців з металевим ущільненням. Фланці з такими стандартами з’єднань застосовуються для конструювання систем високого і надвисокого вакууму.
Обертальний ввід забезпечує надійну роботу без витоків для високо- і надвисоковакуумних систем. Великі міцні керамічно-металеві ущільнювачі гарантують надійну роботу в широкому діапазоні застосувань у вакуумних системах.
Типи введення включають в себе:
- Обертовий рух
- Високовольтна провідність
Основні характеристики
Обертальний введення
Межі роботи вакууму. Від атмосферного до 10 -11 мбар
Момент обертання 150 дюйм х унцію
Швидкість. максимум 200 об / хв.
Температура. 1960С до + 1500С (діапазон робочих температур)
Обертання. Може безперервно обертатися в будь-якому напрямку
Ресурс 50000 повних обертів, номінальна максимальна 300°C (відпалювання)
Високовольтний ввід Фішера
Номінальна напруга (нижче 10-4 мбар) – 12 кВ вводу Фішера
Діапазон струму максимум 1А
Діапазон температур від -196˚C до + 450˚C
Фланець з’єднання 1.33” Mini-ConFlat
Матеріал корпусу. Нержавіюча сталь
Фланці модельного ряду ConFlat
Фланці серії ConFlat від виробника Agilent забезпечують високі галузеві стандарти для даного типу обладнання. Використовуючи унікальні виробничі процеси і технології, Agilent Technologies забезпечує надійну герметичність в фланцях серії ConFlat. Основним матеріалом при виробництві фланців є нержавіюча сталь марки 304 ESR або 304L. Нержавіюча сталь марки ESR виготовляється із застосуванням технології електрошлакової переплавки (Electro Slag Remelting). Цей процес виготовлення ESR дозволяє поліпшити якість нержавіючої сталі і забезпечує високу чистоту матеріалу, зменшення кількості включень, рівномірну структуру.
Основні властивості:
- Ефективна робота з точки зору герметичності
- Доступні в розмірах 1.33” – 13,25”
- Поворотні і не поворотні моделі
- Нержавіюча сталь ESR
- Доступна велика різноманітність фітингів, вакуумних рукавів, підведень руху, перехідників, підведень струму і фурнітури.
Основні характеристики
| Прохідний ізолятор обертального руху , Прохідний ізолятор струму | |
|---|---|
| Границі роботи вакууму | Від атмосферного до 10-11 Торр (мбар) |
| Швидкість | 200 об/хв. максимум |
| Температура | -196°С до +150°С (діапазон робочих температур |
| Обертання | Може безперервно обертатись в будь-якому напрямку |
| Фланець з’єднання | 1.33 дюймів. O.D. mini (NW 16) |
| Матеріал корпусу | Нержавіюча сталь |
ISO фланці, фітинги, гофри та інша арматура
Фланці і фітинги ISO призначені для використання у вакуумних системах, які вимагають присутність можливості розборки і зборки системи. Дані фланці застосовуються, зазвичай, для труб діаметр яких більше 2″. Всі фланці і фітинги ISO виготовлені з нержавіючої сталі 304L. Вони використовуються в діапазоні тисків від атмосфери до 10-8 мбар і дозволяють підтримувати відпал до температур в 1500С використовуючи комплектацію з кільцем для ущільнення Viton O-rings.
Основні характеристики
| ISO фланці, фітинги, гофри та інша арматура | |
|---|---|
| Центруючі кільця | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Т-подібний патрубкок з фланцями | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Фланці | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250, ISO 400, ISO 500 |
| Заглушки | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Струбцини | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Ущільнюючі кільця | Viton, Cilicone, Buna-M |
| Патрубок з одним фланце м | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Патрубок з двома фланцями | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Кутоподібний патрубок | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Хрестоподібний патрубок | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Перехідник з фланця ISO на фланець ISO | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Перехідник з фланця ISO на фланець KF | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Перехідник з фланця ISO на фланець ConFlat | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Перехідник з фланця ISO на обжимну гайку Swagelok | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Перехідник з фланця ISO на різьбове з’єднання | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
| Вакуумний рукав, Сильфон | ISO 63, ISO 80, ISO 100, ISO 160, ISO 200, ISO 250 |
Фланці KF від Agilent спроектовані відповідно стандартам ISO, використовуються в діапазоні тисків від атмосферного до глибокого вакууму. Фланці KF виготовлені з нержавіючої сталі 304L, мають швидкість натікання менше 10-9 см3/сек, можливий відпал до 1500C використовуючи конфігурацію з кільцем для ущільнення O-Ring Viton.
Klamp з’єднання і арматура
Використовуючи зручну конструкцію затискача для легкості установки, ця арматура пропонує швидке і просте рішення при проектуванні і складанні вакуумної системи. При використанні Viton O-Rings можуть витримувати відпал до 1500C, ці фітинги ідеально підходять для високого і надвисокого вакууму.
Основні характеристики
| Клампові з'єднанння (Klamp Flanges) | ||
|---|---|---|
| Хомути | KF10/16, 25, 40, 50 | Алюміній |
| Центруючі кільця | KF10/16, 25, 40, 50 | Алюміній , Нержавіюча сталь |
| Заглушки | KF10/16, 25, 40, 50 | Алюміній , Нержавіюча сталь |
| Ущільнюючі кільця | KF10/16, 25, 40, 50 | Viton, Buna-M |
| Патрубок з одним фланцем | KF10/16, 25, 40, 50 | Полівінілхлорид |
| Полівінілхлоридний армований вауумний шланг | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Кутоподібний патрубок | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Хрестоподібний патрубок | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Перехідник з фланця KF на фланець ISO | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Перехідник з фланця KF на фланець KF | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Перехідник з фланця KF на фланець ConFlat | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Перехідник з фланця KF на обжимну гайку Swagelok | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Перехідник з фланця KF на різьбове з’єднання | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
| Вакуумний рукав, Сильфон | KF16, 25, 40, 50 | Нержавіюча сталь |
Agilent пропонує широкий вибір розмірів контейнерів і типів рідин для дифузійних насосів. Можливий підбір необхідного типу рідини і необхідного розміру контейнера, які буде відповідати вимогам конкретної заявки.
У лінійці надані заправки з точною кількістю рідини, для обслуговування багатьох дифузійних насосів компанії Agilent, включаючи VHS-6 і VHS-10. Така заправка дозволяють придбати достатню кількість рідини для заповнення дифузійного насоса при цьому уникнути дорогих відходів. Це також усуває проблеми, пов’язані з утилізацією залишкової рідини дифузійного насоса при його наповненні.