Дифузійні насоси

ДИФУЗІЙНІ НАСОСИ

Дифузійні (паромасляні) насоси – це обладнання, яке має змогу створювати, а також підтримувати середній і високий вакуум в технологічних системах на виробництвах, забезпечуючи велику продуктивність відкачки. Базою для роботи дифузійного насосу слугує явище дифузії газу в потоках парів, які утворюються за рахунок кипіння робочої рідини (в сучасних насосах робочою рідино є масло).

Конструкція дифузійного насосу являє собою металеву циліндричну чашу,  в основі якої розміщені ТЕНи для підігріву робочої рідини. Від зони підігріву відходять паровідвідні канали, які подають утворені пари масла до робочих ступенів насосу. Канали закінчуються соплами для формування потоків пари, які захоплюють молекули відкачуваного газу. На зовнішній стороні стінок насосу розміщений контур водного охолодження.

Вакуум | Дифузійні насоси | vacuum | novations
Вакуум | Дифузійні насоси | vacuum | novations
Вакуум | Дифузійні насоси | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Молекули газу з робочої камери при попаданні в насос захоплюються щільними напрямленими потоками парів масла і переміщуються в зону стиснення. Пари масла при контакті з охолодженими водою стінками конденсуються і стікають по них до камери нагрівача, де знову підігріваються і повторно утворюють пару. А молекули газу перетікають по соплу до наступної ступені насосу, в якій з ними відбуваються ті ж самі процеси що й у попередній. Після кожної ступені захоплений газ все більше стискається. Це відбувається до тих пір, поки молекули не потраплять в камеру відкачки, зону з максимальним тиском, де відбувається їх видалення форвакуумним насосом. Дана схема є універсальною, а розміри самого насосу визначають кількість робочих ступенів.

Переваги:

Найважливішою переваго дифузійних насосів є висока продуктивність, можливість реалізації великих швидкостей відкачки до десятків тисяч літрів на секунду. Тільки паромасляні насоси мають змогу працювати з такими великими об’ємами робочих камер, при цьому дозволяють отримувати граничний вакуум в діапазоні 10-8 мбар. Важливою перевагою є також проста конструкції і низька вартість даного типу насосів, що забезпечує користувачам легкість в експлуатації та довговічність роботи.

Недоліки:

До найвагоміших недоліків в першу чергу відносять велике споживання енергії. В найбільш продуктивних насосах споживання складає близько 1-,1,5кВт на кожну тисячу літрів на секунду швидкості відкачки. Необхідність водного охолодження та обов’язкова умова вертикального встановлення насосу накладає додаткові обмеження на розміщення, портативність та обережність користування даним типом обладнанням.

Дифузійний насоса AX-65 – високопродуктивний насос з повітряним охолодженням. Конструкція вертикального ребристого котла і висока потужність забезпечують стабільну швидкість подачі гелію. Даний тип насоса можливо замовити з холодною пасткою або захисним екраном. Насос оснащений оглядовим склом для контролю рівня рідини.

Модельний ряд дифузійних насосів HS (2 “, 16”, 20 “, 32”, 35 “) доступні з розмірами фланців 2 – 35 дюйма. Недорогі насоси, які забезпечують високу продуктивність, значний діапазон робочих тисків, можливість отримання низького зворотного потоку. Насоси даної серії виробляються з надійним тепловим захистом і опційно швидкоохолоджуванимм змієвиками. Модельний ряд насосів HS з розміром фланців від 16 до 35 дюймів поставляються з вузлами: оглядового скла для контролю заповнення та зливу. Вся серія HS насосів доступна з фланцями ASA або ISO.

Модельний ряд дифузійних насосів VHS (4 “, 6”, 10 “, 250мм, 400мм) випускається в розмірах 4”, 6 “, 10дюймов і 250мм, 400 мм, Насоси даної серії від компанії Agilent вважаються найшвидшими і найчистішими дифузійними насосами свого розміру на сьогоднішній день. Запатентована серія VHS Bulge Contour подвоює швидкість відкачки газу і підтримує більш низький тиск. Всі насоси серії VHS оснащені оглядовим склом для безперервного контролю заповнення і зливу, що спрощує обслуговування масляного насоса. Завдяки наявним на котлах ребрам збільшується площа поверхні, що подовжує термін служби робочого масла. Повний тепловий захист і швидке охолодження котушок також є стандартними. 4-дюймові, 6-дюймові і 10-дюймові насоси можна замовити з фланцями ASA або ISO, стандартними або розширеними холодними пастками і різними робочими напругами .

Специфікація дифузійних насосів компанії Agilent зі швидкістю відкачування 65 – 3650 літрів / секунд

 AX-65HS-2VHS-4VHS-6VHS-10VHS-250
Швидкість відкачування по повітрю, л/сек65160750155036502125
Максимальна пропускна здатність, мбар-л/сек0.30.82.03.28.43.5
Робочий діапазон, Торр3 x 10-3 < 5 x 10-83,7 x 10-3 < 5 x 10-82 x 10-3 < 5 x 10-81,5 x 10-3 < 5 x 10-91,7 x 10-3 < 5 x 10-91,2 x 10-3 < 5 x 10-9
Максимальний форвакуумний тиск, повне навантаження, мбар0,780,520,730,720,720,72
Зворотній потік парів масла, з охолоджуючою пасткою, мг/см2/хв< 2 x 10-4< 1 x 10-3< 5 x 10-4< 5 x 10-4< 5 x 10-4< 5 x 10-4
Рекомендований форвакуумний насос, м3/год0,258,517295129
Час нагрівання, хв.71510101510
Час охолодження, хв.101010102510
Об’єм масла, л0,030,10,30,510,5
Потужність, Ватт200/2504501450220044002200
Водяне охолодження, л/год при 15-26°С повітряне2030508050
Вага, кг3,62025346834

Специфікація дифузійних насосів компанії Agilent зі швидкістю відкачування 4500 – 28000 літрів / секунд

 VHS-400HS-16HS-20HS-32NHS-35
Швидкість відкачування по повітрю, л/сек45006000100001730028000
Максимальна пропускна здатність, мбар-л/сек8.412.716.740.033.0
Робочий діапазон, Торр1,4x10-3 < 5x10-92x10-3 < 5x10-81,3 x10-3 < 5x10-81,7 x10-3 < 5x10-89x10-3 < 5x10-8
Максимальний форвакуумний тиск, повне навантаження, мбар0.720.720.720.450.52
Зворотній потік парів масла, з охолоджуючою пасткою, мг/см2/хв< 1 x 10-3< 1.5x10-3<1.5x10-4< 7x10-4< 5x10-4
Рекомендований форвакуумний насос, м3/год51136170510510
Час нагрівання, хв.1530456060
Час охолодження, хв254885180180
Об’єм масла, л12.84.711.311.3
Потужність, Ватт4400NA120002400024000
Водяне охолодження, л/год при 15-26°С80300300800800
Вага, кг75218364612680