ВАКУУМНІ КЛАПАНИ
Вакуумні клапани – це компоненти, які структурують вакуумну систему забезпечуючи відсікання та герметизацію різних частин системи, що дозволяє організувати необхідну послідовність відкачування і напуску.
Вакуумні клапани мають відносно просту конструкцію, вони можуть бути: прямі (прямоточні) або кутові за своєю геометрією. Більш вживаною, наразі, є кутова конструкція вакуумного клапана. Прямоточні встановлюються на прямій ділянці труби і можуть застосовуватись як для регулювання потоку так і для відсікання. Кутовий клапан найчастіше використовується для відсікання, або ж герметизації.
Вакуумні клапани мають різні розміри і цим визначається різна пропускна здатність клапана. Щоб гарантувати хімічну стійкість робочої системи, враховуючи потреби і агресивність середовища, клапани можуть виготовлятися з різних матеріалів (нержавіюча сталь різних марок, алюміній, хромовані метали, латунь, бронза і інші матеріали). В залежності від функцій, які клапани забезпечують при роботі вакуумної системи, поділяються на: відсічні (пропускаючі) та ізоляційні.
- Відсічні (пропускаючі) клапани застосовуються, щоб відкривати та закривати прохід потоку по робочому середовищу, проте їх не використовують, щоб регулювати рівень потоку. Основним робочим елементом клапана може бути: диск, металева пластинка, циліндричний вал або мембрана, в залежності від вимог вакуумної системи.
- Ізоляційні клапани. Такий тип клапанів застосовується, щоб зупинити небажаний притік, який часто виникає при від’єднанні певного обладнання. Ізоляційні клапани повністю відсікають потік, який відбувається в зворотному напрямку до напрямку роботи системи, запобігаючи виходу з ладу обладнання та забезпечують дотримання всіх необхідних технологічних процесів.
За способом активації клапани поділяються на: ручні, пневматичні, електромагнітні та електромеханічні. Електромеханічні клапани використовуються як запобіжні клапани при перевірці працездатності робочої системи, це особливо актуально тим системам, де є великі перепади тиску. Електромагнітні клапати зазвичай застосовуються для регулювання потоку, проте вони можуть бути також відсічного типу, які працюють тільки на повне пропускання або ж відсікання потоку.
Клапани UHV серії 54
Вакуумні суцільнометалеві клапани від компанії Agilent в партнерстві з VAT UHV серії 54 спеціально розроблені для організації високовакуумних систем, з температурою нагріву не нижче 300°С, адже в таких робочих системах неможливо використовувати еластомери і метали з низькими температурами плавлення. Клапани вручну монтуються стандартним шестигранним ключем. Завдяки жорсткому, твердому металевому ущільнення ці клапани можуть гарантовано витримати роботу в тисячі циклів, перш ніж потребувати технічне обслуговування. Діапазон роботи таких клапанів від атмосферного тиску до 10-11 мбар
Основні характеристики
| UHV серії 54 | |
|---|---|
| Номінальне натіканні | < 1 x 10 -10 мбар x л/с |
| Діапазон тиску | від 1 атмосфери до 10-11 мбар |
| Виносливість | ≥ 1000 циклів |
| Максимальна температура | ≤ 300°С, для закритого і відкритого положення |
| Швидкість нагріву і охолодження | 60°С/год |
| Тип індикації позиціювання | візуальний (за рахунок механізму) |
Алюмінієві клапани серії 26
Вакуумні клапани від компанії Agilent в партнерстві з VAT серії 26 це, надійні компоненти, для структурування низько- і високовакуумних систем для роботи напівпровідникової і приладобудівної промисловості, а також для дослідницьких лабораторій. У більшості випадків, алюмінієві блокові клапани витримують 3 мільйонів циклів до першого обслуговування. Клапани серії 26 доступні як в прямій, так і в кутовій конструкції, а також за способом активації можуть бути як ручними, так і пневматичними. Пневматичний клапан доступний з індикатором положення (подача електричного вихідного сигналу, коли починається цикл клапана, і встановлюється користувачем в нормальному відкритому чи закритому стані).
Основні характеристики
| Серія 26 | |
|---|---|
| Виносливість | 3 млн (під пневмокеруванням), 10000 (під ручним керуванням) |
| Максимальні температури | ≤ 150°С (корпус клапана), ≤ 120°С (ручний і пневматичний привід) ≤ 80°С (електромагнітний клапан, індикатор позиції) |
| Електромагнітний клапан | 24 V DC, 115 VAC, 220 VAC |
| Можливість встановлення | в будь-якому положенні |
| Тип індикації положення | візуальний (за рахунок механізму) |
Алюмінієві відсічні клапани серії 12 (Gate Valves)
Відсічні клапани серії 12 забезпечують вузький профіль і малу кількість викидів частинок при ізоляції високовакуумного насоса. Алюмінієві клапани дешевші за клапани вироблені з нержавіючої сталі. В алюмінієвому відсічному клапані є невеликий фланцевий профіль, який полегшує установку і обслуговування. Клапани доступні в ручному, поршневому і пневматичному режимах подвійної дії. Пневматичні клапани доступні з актюаторами: на 115 В змінного струму; 220 В змінного струму; або 24 В постійного струму, а також наявний індикатор положення.
Основні характеристики
| Серія 12 | |
|---|---|
| Область робочого вакууму | одна атмосфера до 10-7 мбар |
| Максимальна температура | 150°С |
| Метал корпусу | алюміній |
| Ущільнювач циліндра | вітон |
| Область витоку на ущільнювачі | <1x10-9атмосфер x см3/сек (по гелію) |
| Область витоку на корпусі | <1 x10-10атмосфер x см3/сек (по гелію) |
| Підключення пневматики | 1/8 в/ NPT |
| Виносливість | 1млн. циклів |
| Швидкодія | менше 2 сек (при відкриванні чи закриванні) |
| Робочий тиск | від 4 атмосфер до 7 атмосфер |
| Пропускна спроможність | ISO від 63 до 550 л/с; ISO від 100 до 2000 л/с; ISO від 160 до 7000 л/с; ISO від 250 до 26000 л/с |
Електромагнітні клапана виробництва Agilent
Економні клапана, які не потребують додаткового тех.обслуговування, прості при монтуванні вакуумної системи завдяки наявним швидкозмінним з’єднанням. Доступні два фланці Klamp Flange: NW16 і NW25. Керуюча напруга 12 В або 24 В постійного струму, 220В (50/60 Гц), 240В (50 Гц), 115В (50/60 Гц), 200В (60 Гц).
Основні характеристики
| Клапана Agilent | |
|---|---|
| Діапазон робочих тисків | від 1 атмосфери до 10 -6 мбар (алюмінієвий корпус); 1 атмосфера - 10 -9 мбар (нікелево-платиновий корпус) |
| Номінальне натікання | від 1 атмосфери до 10-9 мбар |
| Максимальна температура | 125°С (в положенні «закритий») |
| Строк служби | 250 000 циклів |
| Потужність | 23 Вт |
| Швидкодія | Відкривання - 50 мс; закривання - 25 мс |
| Пропускна спроможність | KF 16 – 2,2 л/с KF 25 – 3,5 л/с |
Ізоляційний клапан від компанії Agilent
Клапан підключений паралельно живленню механічного насосу, знаходиться у відкритому стані поки живлення на насос подається, при виключенні живлення – клапан закривається, тим самі відсікаючи потік частинок, що йдуть у зворотному напрямку з насоса в робочу систему. Ізоляційний клапан також забезпечує вентиляцію насоса на вході, проштовхуючи сміття до виходу насоса виключаючи можливість його потрапляння у вакуумну систему при повторному ввімкненні механічного насоса. Геометрія клапана – прямокутна, що дозволяє отримати максимально можливу пропускну здатність.
Основні характеристики
| Клапан ізоляційний | |
|---|---|
| Матеріал | для корпуса - алюміній Т6061-Т6; для штока - алюміній 2024; для ущільнення - вітон |
| Робоча потужність | 7 Вт |
| Швидкодія | 30 мс (відкривання, закривання) |
| Фланець під’єднання | KF 25; KF 40 |
| Область витоку на корпусі | <1x10-10атмосфер x см3/сек (по гелію) |
| Область витоку на ущільнювачі | <1x 10-10атмосфер x см3/сек (по гелію) |
| Робочі температури | клапана 0 - 100°С, електромагніта 0 - 500°С; |
| Пропускна спроможність | KF 25 – 13 л/с; KF 40 – 33 л/с |
Вакуумний натікач Variable Leak Valve
Натікач Variable Leak Valve доступний для ручної активації та рухомим стержнем з оптично гладким сапфіром, що знаходиться в контакті з закріпленою металевою прокладкою. Така технологія виготовлення клапана забезпечує ущільнення, повністю вільне від тертя, заклинювання і або зміщення. Переміщення сапфіра керується різьбовим механізмом з валом і важелем, що дозволяє отримати покращення в силі 13000: 1
Основні характеристики
| Вакуумний натікач Variable Leak Valve | |
|---|---|
| Контрольована межа витоку | 10-10 мбар x л/с |
| Область робочого вакуума | одна атмосфера - 10-11 мбар |
| Номінальне натікання | <1x10-10атмосфер x см3/сек (по гелію) |
| Пропускна спроможність клапана | 6 літ/хв |
| Максимальна температура | 450°С |
| Фланець під’єднання | CFF 40 |