Вакуумні клапани

ВАКУУМНІ КЛАПАНИ

Вакуумні клапани – це компоненти, які структурують вакуумну систему забезпечуючи відсікання та герметизацію різних частин системи, що дозволяє організувати необхідну послідовність відкачування і напуску.

Вакуумні клапани мають відносно просту конструкцію, вони можуть бути: прямі (прямоточні) або кутові за своєю геометрією. Більш вживаною, наразі, є кутова конструкція вакуумного клапана. Прямоточні встановлюються на прямій ділянці труби і можуть застосовуватись як для регулювання потоку так і для відсікання. Кутовий клапан найчастіше використовується для відсікання, або ж герметизації.

Вакуум | Клапани суцільнометалеві | vacuum | novations
Вакуум | Алюмінієві клапани | vacuum | novations
Вакуум | Алюмінієві вентильні клапани | vacuum | novations
Вакуум | ізоляційний клапан | vacuum | novations
Вакуум | вакуумний натікач | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Вакуумні клапани мають різні розміри і цим визначається різна пропускна здатність клапана. Щоб гарантувати хімічну стійкість робочої системи, враховуючи потреби і агресивність середовища, клапани можуть виготовлятися з різних матеріалів (нержавіюча сталь різних марок, алюміній, хромовані метали, латунь, бронза і інші матеріали). В залежності від функцій, які клапани забезпечують при роботі вакуумної системи, поділяються на: відсічні (пропускаючі) та ізоляційні.

  • Відсічні (пропускаючі) клапани застосовуються, щоб відкривати та закривати прохід потоку по робочому середовищу, проте їх не використовують, щоб регулювати рівень потоку. Основним робочим елементом клапана може бути: диск, металева пластинка, циліндричний вал або мембрана, в залежності від вимог вакуумної системи.
  • Ізоляційні клапани. Такий тип клапанів застосовується, щоб зупинити небажаний притік, який часто виникає при від’єднанні певного обладнання. Ізоляційні клапани повністю відсікають потік, який відбувається в зворотному напрямку до напрямку роботи системи, запобігаючи виходу з ладу обладнання та забезпечують дотримання всіх необхідних технологічних процесів.

За способом активації клапани поділяються на: ручні, пневматичні, електромагнітні та електромеханічні. Електромеханічні клапани використовуються як запобіжні клапани при перевірці працездатності робочої системи, це особливо актуально тим системам, де є великі перепади тиску. Електромагнітні клапати зазвичай застосовуються для регулювання потоку, проте вони можуть бути також відсічного типу, які працюють тільки на повне пропускання або ж відсікання потоку.

Клапани UHV серії 54

Вакуумні суцільнометалеві клапани від компанії Agilent в партнерстві з VAT UHV серії 54 спеціально розроблені для організації високовакуумних систем, з температурою нагріву не нижче 300С, адже в таких робочих системах неможливо використовувати еластомери і метали з низькими температурами плавлення. Клапани вручну монтуються стандартним шестигранним ключем. Завдяки жорсткому, твердому металевому ущільнення ці клапани можуть гарантовано витримати роботу в тисячі циклів, перш ніж вимагати технічного обслуговування. Діапазон роботи таких клапанів від атмосферного тиску до 10-11 мбар

Основні характеристики

 UHV серії 54
Номінальне натіканні< 1 x 10 -10 мбар x л/с
Діапазон тискувід 1 атмосфери до 10-11 мбар
Виносливість≥ 1000 циклів
Максимальна температура≤ 300°С, для закритого і відкритого положення
Швидкість нагріву і охолодження60°С/год
Тип індикації позиціюваннявізуальний (за рахунок механізму)

Алюмінієві клапани серії 26

Вакуумні клапани від компанії Agilent в партнерстві з VAT серії 26 це, надійні компоненти, для структурування низько- і високовакуумних систем для роботи напівпровідникової і приладобудівної промисловості, а також для дослідницьких лабораторій. У більшості випадків, алюмінієві блокові клапани витримують 3 мільйонів циклів до першого обслуговування. Клапани серії 26 доступні як в прямій, так і в кутовий конструкції, а також за способом активації можуть бути як ручними, так і пневматичними. Пневматичний клапан також доступний з індикатором положення (подача електричного вихідного сигналу, коли починається цикл клапана, і встановлюється користувачем в нормальному відкритому чи закритому стані).

Основні характеристики

 Серія 26
Виносливість3 млн (під пневмокеруванням),
10000 (під ручним керуванням)
Максимальні температури≤ 150°С (корпус клапана),
≤ 120°С (ручний і пневматичний привід)
≤ 80°С (електромагнітний клапан, індикатор позиції)
Електромагнітний клапан24 V DC, 115 VAC, 220 VAC
Можливість встановленняв будь-якому положенні
Тип індикації положеннявізуальний (за рахунок механізму)

Алюмінієві відсічні клапани серії 12 (Gate Valves)

Затворні клапани серії 12 забезпечують вузький профіль і малу кількістю викидів частинок при ізоляції високовакуумного насоса. Алюмінієві клапани дешевші за клапани вироблені з нержавіючої сталі. Затворні клапана серії 12 це високоефективні економічні механізми з плавним приводом. В алюмінієвому відсічному клапані є невеликий фланцевий профіль, який полегшує установку і обслуговування. Клапани доступні в ручному, поршневому і пневматичному режимах подвійної дії. Пневматичні клапани доступні з електромагнітними клапанами: на 115 В змінного струму; 220 В змінного струму; або 24 В постійного струму, а також наявний індикатор положення.

Основні характеристики

 Серія 12
Область робочого вакуумуодна атмосфера до 10-7 мбар
Максимальна температура150°С
Метал корпусуалюміній
Ущільнювач циліндравітон
Область витоку на ущільнювачі<1x10-9атмосфер x см3/сек (по гелію)
Область витоку на корпусі<1 x10-10атмосфер x см3/сек (по гелію)
Підключення пневматики1/8 в/ NPT
Виносливість1млн. циклів
Швидкодіяменше 2 сек (при відкриванні чи закриванні)
Робочий тисквід 4 атмосфер до 7 атмосфер
Пропускна спроможністьISO від 63 до 550 л/с; ISO від 100 до 2000 л/с; ISO від 160 до 7000 л/с; ISO від 250 до 26000 л/с

Електромагнітні клапана виробництва Agilent

Економні клапана, які не потребують додаткового тех.обслуговування, прості при монтуванні вакуумної системи завдяки наявним швидкозмінним з’єднанням. Доступні два фланці Klamp Flange: NW16 і NW25. Керуюча напруга 12 В або 24 В постійного струму, 220В (50/60 Гц), 240В (50 Гц), 115В (50/60 Гц), 200В (60 Гц).

Основні характеристики

 Клапана Agilent
Діапазон робочих тисківвід 1 атмосфери до 10 -6 мбар (алюмінієвий корпус);
1 атмосфера - 10 -9 мбар (нікелево-платиновий корпус)
Номінальне натіканнявід 1 атмосфери до 10-9 мбар
Максимальна температура125°С (в положенні «закритий»)
Строк служби250 000 циклів
Потужність23 Вт
ШвидкодіяВідкривання - 50 мс; закривання - 25 мс
Пропускна спроможністьKF 16 – 2,2 л/с KF 25 – 3,5 л/с

Ізоляційний клапан від компанії Agilent

Клапан підключений паралельно живлення механічного насоса. Клапан знаходиться у відкритому стані поки живлення на насос подається, при виключенні живлення – клапан закривається, тим самі відсікаючи потік частинок, що йдуть у зворотному напрямку з насоса в робочу систему. Ізоляційний клапан також забезпечує вентиляцію насоса на вході, проштовхуючи сміття до виходу насоса виключаючи можливість його потрапляння у вакуумну систему при повторному ввімкненні механічного насоса. Геометрія клапана – прямокутна дозволяє отримати максимально можливу пропускну здатність.

Основні характеристики

 Клапан ізоляційний
Матеріалдля корпуса - алюміній Т6061-Т6; для штока - алюміній 2024; для ущільнення - вітон
Робоча потужність7 Вт
Швидкодія30 мс (відкривання, закривання)
Фланець під’єднанняKF 25; KF 40
Область витоку на корпусі<1x10-10атмосфер x см3/сек (по гелію)
Область витоку на ущільнювачі<1x 10-10атмосфер x см3/сек (по гелію)
Робочі температуриклапана 0 - 100°С, електромагніта 0 - 500°С;
Пропускна спроможністьKF 25 – 13 л/с; KF 40 – 33 л/с

Вакуумний натікач Variable Leak Valve

Натікач Variable Leak Valve доступний з ручною активацією та рухомим стержнем з оптично гладким сапфіром, що знаходиться в контакті з закріпленою металевою прокладкою. Така технологія виготовлення клапана забезпечує ущільнення, повністю вільне від тертя, заїдань і або зміщення. Переміщення сапфіра керується різьбовим механізмом з валом і важелем, що дозволяє отримати покращення в силі 13000: 1

Основні характеристики

 Вакуумний натікач Variable Leak Valve
Контрольована межа витоку10-10 мбар x л/с
Область робочого вакуумаодна атмосфера - 10-11 мбар
Номінальне натікання<1x10-10атмосфер x см3/сек (по гелію)
Пропускна спроможність клапана6 літ/хв
Максимальна температура450°С
Фланець під’єднанняCFF 40