Вакуумні клапани

суцільнометалевий клапан

Клапани суцільнометалеві UHV серії 54

Компанія Agilent із пропонує Серію 54 суцільнометалевих вакуумних клапанів у партнерстві з VAT. Ці клапани спеціально розроблені для використання в ультрависоких вакуумних системах, де температура нагрівання до 300°С перешкоджає використанню еластомерів і металів з низькою температурою плавлення. Клапани вручну монтуються стандартним шестигранним ключем. Завдяки жорсткому твердому металевому ущільненню ці клапани можуть працювати тисячі разів, перш ніж вимагати технічного обслуговування. Клапани серії 54 вимагають дуже мало технічного обслуговування з максимальною надійністю та вакуумним ущільненням від атмосферного тиску до 10-11 торр (мбар).
Норма витоків < 1 x 10 -10 мбар лс-1
Діапазон тиску1 атм. – 10-11 Торр ( мбар)
Витривалість≥ 1000 циклів
Максимальна температура≤ 300°С , для закритого та відкритого положень
Швидкість нагріву та охолодження = 60°С год-1
Тип індикації позиціюванняВізуальний (за рахунок механізму)
алюмінієвий клапан

Алюмінієві клапани серії 26

Agilent пропонує серію 26 алюмінієвих клапані у партнерстві з VAT. Серія 26 - це компактні, надійні клапани, що використовуються в в умовах низького та високого вакууму для напівпровідникових і приладобудувальних, дослідницьких та промислових вакуумних систем. Ці блочні клапани надійно досягають 3 мільйонів циклів спрацювання перед першим обслуговуванням у більшості випадків збірок. Ці клапани доступні в прямокутному та лінійному варіанті, а також можуть керуватись вручну та працювати від пневматики. Пневматичний клапан також доступний з індикатором положення. Індикатор положення подає електричний вихідний сигнал, коли цикл клапана, і встановлюється користувачем у нормальному відкритому або закритому стані.
Кількість циклів до першого обслуговування3 мільйони (під пневмокеруванням), 10 000( від ручного керування)
Максимальні температури≤ 150°С ( корпус клапану), ≤ 120°С (ручний та пневматичний привід) ≤ 80°С (Електромагнітний клапан, індикатор позиції)
Електромагнітний клапан 24 V DC, 115 VAC, 220 VAC
Можливість установки В будь якому-положенні
Тип індикації положенняВізуальний ( за рахунок механізму)
алюмінієвий вентильний клапан

Алюмінієві вентильні клапани серії 12 (Gate Valves)

Затворні клапани серії 12 забезпечують дешеві, з вузьким профілем та малою кількістю викидів твердих часточок під час роботи клапану. Такі клапани являються більш економною альтернативою клапанам з нержавіючої сталі. Затворні клапани серії 12 є високоефективними економічними механізмами з плавною дією. Лінійний привод та ущільнюючий механізм на основі опорної пластини призначений для зведення до мінімуму точок контакту метал до металу. Клапани доступні з керуванням в ручному режимі або під дією пневматики та комбінованої дії. Пневматичні клапани доступні з електромагнітними (пілотними) клапанами з частотою 115 В, 220 В, 24 В постійного струму та індикатором положення.
Діапазон вакууму1 атм. - 10-7 Торр (мбар)
Максимальна температура 150°С
Матеріал корпусуАлюміній
Ущільнення поршняВітон
Діапазон витоку ущільнення< 1 x 10-9 атм. см3/с (по Гелію)
Діапазон витоку корпусу< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелію)
Пневматичне з’єднання1/8 in/ NPT
Термін служби1 000 000
Час відкриття / закриттяМенше 2 сек
Тиск стисненого повітря60 psi - 100 psi
Пропускна здатністьISO 63-550 л/сек / ISO 100-2000 л/сек / ISO 160 - 7000 л/сек / ISO 250 - 26000 л/сек
електромагнітний клапан

Електромагнітні клапани Agilent

Економічний, не потребує обслуговування, легко вмонтовується в вакуумну систему за допомогою швидкознімного з’єднання. Випускаються з двома приєднувальними фланцями: KlampFlange NW16 и NW25. Напруга керування 12В або 24 В постійного струму, 220В (50/60ГЦ), 240В (50Гц), 115В(50/60Гц), 200В (60 Гц).
Діапазон вакуумуКорпус з алюмінію - 1 атм. - 10-6Торр Корпус з никель-платини - 1 атм. - 10-9 Торр
Діапазон витоків1 атм. - 10-9 Торр (мбар)
Максимальна температура В закрытом положении – 125°С
Термін служби250 000
Потужність23 Ватт
Час відкривання / закриванняВідкривання – 50 мсек; Закривання – 25 мсек
Пропускна здатністьKF 16 – 2,2 л/с KF 25 – 3,5 л/с
Ізоляційний клапан

Ізоляційний клапан

Цей клапан підключений електрично паралельно до механічного насосу і швидко зачиняється при перериванні подачі живлення, щоб запобігти зворотньому потоку масла або ж міграції частинок в вакуумну систему. Даний клапан також вентилює насос з вхідної сторони, що дозволяє проштовхнути все сміття до вихідного отвору, запобігаючи його попаданню при повторному запуску насосу. Конструкція корпусу і розміщення клапану під прямим кутом забезпечує максимальну провідність
МатеріалКорпусу – алюміній Т6061-Т6; Штоку – алюміній 2024; Ущільнення - вітон
Потужність7 Ватт
Час закриття 30 мсек
Фланець підключенняKF 25; KF 40
Діапазон витоку ущільнення< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелію)
Діапазон витоку корпусу< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию)
Діапазон температуриКлапан від 0 до 100°С, електромагніту від 0 до 500°С;
Пропускна здатністьKF 25 – 13 л/сек; KF 40 – 33л/сек
Вакуумний натікач

Вакуумний натікач Variable Leak Valve

Натікач ручної дії має рухомий шток з оптично плоским сапфіром, який стикається із зафіксованою металевою прокладкою. Ця технологія формує ущільнення, повністю вільне від тертя, заїдань і зсуву. Переміщення сапфіру керується від різьбового механізму, що має вал і важіль, який забезпечує виграш в силі 13 000: 1.
Контрольований рівень витоків10-10 Торр*л/сек
Діапазон вакууму1 атм. - 10-11 Торр (мбар)
Діапазон витоків< 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелію)
Максимальний потік витрати6 л/хв.
Максимальна температура 450°С
Фланець підключення CFF 40