Откачивающие посты

ОТКАЧНЫЕ ВАКУУМНЫЕ ПОСТЫ

Откачные вакуумные посты – это полноценные системы для создания глубокого вакуума. Они укомплектованы всеми необходимыми компонентами для получения высоких показателей вакуума: вакуумными насосами различной производительности и типов применения, датчиками вакуума и контролерами. Все эти компоненты обычно собраны в одном корпусе и могут иметь как единую систему управления так и раздельную. Такие комплексные вакуумные системы обеспечивают получение предельного вакуума до 10-10 мбар.

Откачные посты могут иметь различные размеры и, для мобильности, монтироваться на подвижной платформе.

Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
Вакуум | Відкачувальний пост | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Чтобы достигать таких высоких значений вакуума в откачные постах сочетаются высоковакуумный и форвакуумный насосы. Обычно, пост имеет единую систему управления. Включается вместе, одной кнопкой, и форвакуумный, и высоковакуумный насосы. В зависимости от области применения, глубины вакуума и необходимой скорости откачки, выбирают для работы следующие форвакуумные насосы: масляный – пластинчато-роторный насос, или же для работы с сухим вакуумом используют спиральный или мембранный насосы. Самый распространенный высоковакуумный насос, применяемый сейчас при конструировании откачные постов, это турбомолекурный насос. Оба насосы (форвакуумный и высоковакуумный) размещаются в общем корпусе с необходимой вакуумной арматурой, чтобы гарантировать надежную и безопасную работу всего поста.

В случае, когда в качестве высоковакуумного насоса используется турбомолекурный носос, после включения контроллер запускает его и начинает отслеживать нагрузку. При достижении форвакуумным насосом молекулярного потока откачки газа, турбомолекулярный насос разгоняется до штатного режима работы, обеспечивает качественную и долгую службу откачного поста.

Обычно посты также комплектуются широкодиапазонным вакуумметром и контроллерами, которые обеспечивают контроль уровня достигнутого вакуума и вывод информации на общий дисплей. Важной особенность работы откачные постов есть возможность подачи информационного сигнала на дополнительное оборудование. Например: автоматический запуск системы напыления при достижении откачные постом необходимого для работ уровня вакуума.

Модельный ряд и спецификация откачных постов компании Agilent Technologies

Откачные посты серии TPS – Compact обеспечивают откачу сразу же после включения оборудования. Высокопродуктивные системы предназначены для получение глубокого вакуума в камерах не очень большого объёма. Данные посты комплектуются сухими спиральными насосами для предварительной откачки, что позволяет получить все преимущества безмасляной линии: такой насос не газит и не требует частого обслуживания по замене уплотнителяных жидкостей. Для высоковакуумного насоса возможно использовать обновлённый турбомолекулярный насос серии TwisTorr, который позволяет получить большой коэффициент сжатия в системе при этом показывает хорошие результаты по продуктивности. Для измерения давления в вакуумной камере откачные посты комплектуются широкодиапазонными вакуумметрами с диапазоном работы от атмосферы до 5×10-9 миллибар.

При полной комплектации и высоких показателях рабочих параметров откачные посты серии TPS – Compact имеют небольшую общую массу, что обеспечивает легкость и портативность данного оборудования.

Техническая спецификация

 TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FSTPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 304 FS
Используется с фланцамиNW40/ISO63/CFF40/CFF63NW100/ISO160/CFF100/CFF160
Продуктивность (измеряется по откачке азота), литер/секунду40/77/40/77250/280/250/280
Максимальный вакуум, миллибарДля фланцев NW40/ISO63 1х10-8
Для фланцев CFF40/CFF63 1х10-9
Для фланцев NW100/ISO160 1х10-8
Для фланцев CFF100/CFF160 1х10-9
Выход на штатный режим откачки, секунды144150
Откачка тестового объёма (14литров), секундыЗа 400секунд до 1,3х10-5миллибарЗа 200секунд до 1,3х10-5миллибар
Каналы получения данныхЦифровой RS 232Цифровой RS 232
Используемый вакуумметрАктивный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибарАктивный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар
Используемое ПОT - PlusT - Plus
Отсекающий клапанИмеющийсяесть
Вес поста, килограммы16.719.1

Откачные посты серии Mini Task это продуктивные откачивающие системы обеспечивающие высокий вакуум в рабочей камере до 10-9миллибар. Mini Task работают на базе высоковакумного турбомолекулярного насоса TwisTorr84FS и безмасляного диафрагменного насоса MD1, в котором роль поршня выполняет гибкая пластина-диафрагма, что закреплена за края и сгибается под действием механизма рычага или переменного давления среды. При изгибе диафрагмы в одну сторону происходит всасывание газа, при изгибе в другую – нагнетание. Благодаря сухому форвакуумному насосу и обновлённому турбомолекулярному насосу посты серии Mini Task позволяют получить при работе все плюсы безмасленой откачной системы: чистая рабочая область, продолжительное время службы до первого технического обслуживания, обеспечение высоких показателей по давлению в вакуумной камере. Небольшой вес оборудования позволяет переносится его в небольшом рабочем пространстве.

Техническая спецификация

Используется с фланцамиNW40ISO63CFF63
Продуктивность (измеряется по откачке азота), литер/секунду406060
Максимальный вакуум, миллибар2 х 10-75 х 10-8
Выход на штатный режим откачки, секундыНе больше 122 секунд
Откачка тестового объёма (1литров), секундыЗа 160секунд до 7х10-5миллибар
Каналы получения данныхЦифровой RS 232
Используемый вакуумметрАктивный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар
Используемое ПОT-Plus
Вес поста, килограммы7.5

Откачные посты серии TPS-Mobile это модульные, настраиваемые насосные системы высокой производительности смонтированные на передвижной тележке. В данных откачных постах используются обновлены высоковакуумные турбомолекулярные насосы малого и среднего размеров: TwisTorr и Turbo-V. Для форвакуума возможен выбор насоса: либо безмасляные спиральные серии IDP, либо масленые пластинчато-роторные насосы серии DS, а также возможно выбрать конфигурацию со вмонтированным отсекающим клапаном для низковакуумного насоса, что позволяет получить полная защиту системы от проброса воздуха в случае отключения питания. Системы TPS-Mobile монтируются с разными вакуумметрами, которые позволяют фиксировать давлений в любом диапазоне. Мобильные откачные посты данной серии поддерживают стандарты сетевого напряжения по всему миру и отвечают мировым стандартам безопасности.

Поставляемые форвакуумные насосы для комплектации откачных постов TPS-MOBILE:

Спиральные безмасляные насосы:

  • Модель IDP-3. Продуктивность 50 лит/м при 50Гц
  • Модель IDP-7 Продуктивность 120 лит/м при 50Гц
  • Модель IDP-15 Продуктивность 214 лит/мин при 50Гц
  • Модель PTS-300 (с отсекающим клапаном VPI). Продуктивность 250 лит/мин при 50Гц
  • Модель PTS-600 (с отсекающим клапаном VPI). Продуктивность 420 лит/мин при 50Гц

Масляные пластинчато-роторные  насосы:

  • Модель DS102. Продуктивность 95 лит/м при 50Гц
  • Модель DS202. Продуктивность 160 лит/м при 50Гц
  • Модель DS302. Продуктивность 237 лит/м при 50Гц
  • Модель DS402. Продуктивность 342 лит/м при 50Гц
  • Модель DS602. Продуктивность 504 лит/м при 50Гц

Поставляемые высоковакуумные турбомолекулярные насосы для комплектации откачных постов TPS-MOBILE:

  • Модель TwisTorr74FS. Продуктивность 67 лит/м по азоту.
  • Модель TwisTorr304FS. Продуктивность 250 лит/м по азоту
  • Модель Turbo-V551Navigator. Продуктивность 550 лит/м по азоту

Техническая спецификация

 TwisTorr74FSTwisTorr304FSTurbo-V551Navigator
Продуктивность, лит/мин
По азоту67250550
Допустимый вакуум, миллибар
Для безмасляного форвакуумного насоса 5x10-95x10-105x10-10
Для масляного форвакуумного насоса5x10-10
Выбор типа вакуумметра
Диапазон давлений
1.3x10-3 – 2.6x10-9 миллибар
Для высокого вакуума - IM-500 с конфигурацией фланцев KF25/KF40/CF40
Диапазон давлений 1000 – 5x10-9 миллибарИспользуется контролер XGS600
для низкого вакуума - ConvecTorr использует фланец KF25
для высокого вакуума - IMG-100 использует фланец KF25
Диапазон давлений
1000 – 2.6x10-9 миллибар
Используются широкодиапазонные вакуумметры FRG-700/FRG 720 с конфирмацией фланцев KF25/CF40

Откачные посты серии TPS-FLEXY это гибкие, безмасляные, модульные решения адаптируемые к различным задачам. Возможность собрать собственную откачную вакуумную систему TPS-flexy на базе турбомолекулярного насоса TwisTorr74FS или TwisTorr304FS и сухого спирального форвакуумного насоса IDP-3 или IDP-7, или диафрагменного форвакуумного насоса MD-1. Откачные посты данного типа также могут комплектоваться встроенным или внешним, для монтирования в стойку, контроллером с поддержкой считывания показаний вакуумметра. Модульная конструкция системы TPS-FLEXY позволяет каждый компонент поста заменить отдельно, что обеспечивает простое обновление конфигурации при смене требований к системе, а также легкое и быстрое техническое обслуживание на месте.

Техническая спецификация

 TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS и диафрагменным насосом MD-1TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS и сухим спиральным насосом IDP-3TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 304 FS FS и сухим спиральным насосом IDP-7
Используется с фланцамиKF40/ISO63/CF63ISO63/CF63ISO100
Продуктивность (измеряется по откачке азота), литер/секунду38/52/5257250
Максимальный вакуум, миллибарДля фланцев KF40/ISO63 2х10-7
Для фланцев CF63 5х10-8
Для фланцев ISO63 1х10-8
Для фланцев CF63 1х10-9
5х10-9
Выход на штатный режим откачки, секунды122144144
Откачка тестового объёма (1литр), секундыЗа 140секунд до 5х10-5 миллибарЗа 400секунд до 1,3х10-5 миллибарНет данных
Откачка тестового объёма (14литров), секундыНет данныхНет данныхЗа 160секунд до 1,3х10-5миллибар
Каналы получения данныхЦифровой RS 232Цифровой RS 232Цифровой RS 232
Используемый вакуумметрНет данныхНет данныхАктивный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар
Используемое ПОT - PlusT - PlusT - Plus
Вес поста, килограммы7.7Нет данныхНет данных

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: