ОТКАЧНЫЕ ВАКУУМНЫЕ ПОСТЫ
Откачные вакуумные посты – это полноценные системы для создания глубокого вакуума. Они укомплектованы всеми необходимыми компонентами для получения высоких показателей вакуума: вакуумными насосами различной производительности и типов применения, датчиками вакуума и контролерами. Все эти компоненты обычно собраны в одном корпусе и могут иметь как единую систему управления так и раздельную. Такие комплексные вакуумные системы обеспечивают получение предельного вакуума до 10-10 мбар.
Откачные посты могут иметь различные размеры и, для мобильности, монтироваться на подвижной платформе.
Чтобы достигать таких высоких значений вакуума в откачные постах сочетаются высоковакуумный и форвакуумный насосы. Обычно, пост имеет единую систему управления. Включается вместе, одной кнопкой, и форвакуумный, и высоковакуумный насосы. В зависимости от области применения, глубины вакуума и необходимой скорости откачки, выбирают для работы следующие форвакуумные насосы: масляный – пластинчато-роторный насос, или же для работы с сухим вакуумом используют спиральный или мембранный насосы. Самый распространенный высоковакуумный насос, применяемый сейчас при конструировании откачные постов, это турбомолекурный насос. Оба насосы (форвакуумный и высоковакуумный) размещаются в общем корпусе с необходимой вакуумной арматурой, чтобы гарантировать надежную и безопасную работу всего поста.
В случае, когда в качестве высоковакуумного насоса используется турбомолекурный носос, после включения контроллер запускает его и начинает отслеживать нагрузку. При достижении форвакуумным насосом молекулярного потока откачки газа, турбомолекулярный насос разгоняется до штатного режима работы, обеспечивает качественную и долгую службу откачного поста.
Обычно посты также комплектуются широкодиапазонным вакуумметром и контроллерами, которые обеспечивают контроль уровня достигнутого вакуума и вывод информации на общий дисплей. Важной особенность работы откачные постов есть возможность подачи информационного сигнала на дополнительное оборудование. Например: автоматический запуск системы напыления при достижении откачные постом необходимого для работ уровня вакуума.
Модельный ряд и спецификация откачных постов компании Agilent Technologies
Откачные посты серии TPS – Compact обеспечивают откачу сразу же после включения оборудования. Высокопродуктивные системы предназначены для получение глубокого вакуума в камерах не очень большого объёма. Данные посты комплектуются сухими спиральными насосами для предварительной откачки, что позволяет получить все преимущества безмасляной линии: такой насос не газит и не требует частого обслуживания по замене уплотнителяных жидкостей. Для высоковакуумного насоса возможно использовать обновлённый турбомолекулярный насос серии TwisTorr, который позволяет получить большой коэффициент сжатия в системе при этом показывает хорошие результаты по продуктивности. Для измерения давления в вакуумной камере откачные посты комплектуются широкодиапазонными вакуумметрами с диапазоном работы от атмосферы до 5×10-9 миллибар.
При полной комплектации и высоких показателях рабочих параметров откачные посты серии TPS – Compact имеют небольшую общую массу, что обеспечивает легкость и портативность данного оборудования.
Техническая спецификация
| TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS | TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 304 FS | |
|---|---|---|
| Используется с фланцами | NW40/ISO63/CFF40/CFF63 | NW100/ISO160/CFF100/CFF160 |
| Продуктивность (измеряется по откачке азота), литер/секунду | 40/77/40/77 | 250/280/250/280 |
| Максимальный вакуум, миллибар | Для фланцев NW40/ISO63 1х10-8 Для фланцев CFF40/CFF63 1х10-9 | Для фланцев NW100/ISO160 1х10-8 Для фланцев CFF100/CFF160 1х10-9 |
| Выход на штатный режим откачки, секунды | 144 | 150 |
| Откачка тестового объёма (14литров), секунды | За 400секунд до 1,3х10-5миллибар | За 200секунд до 1,3х10-5миллибар |
| Каналы получения данных | Цифровой RS 232 | Цифровой RS 232 |
| Используемый вакуумметр | Активный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар | Активный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар |
| Используемое ПО | T - Plus | T - Plus |
| Отсекающий клапан | Имеющийся | есть |
| Вес поста, килограммы | 16.7 | 19.1 |
Откачные посты серии Mini Task это продуктивные откачивающие системы обеспечивающие высокий вакуум в рабочей камере до 10-9миллибар. Mini Task работают на базе высоковакумного турбомолекулярного насоса TwisTorr84FS и безмасляного диафрагменного насоса MD1, в котором роль поршня выполняет гибкая пластина-диафрагма, что закреплена за края и сгибается под действием механизма рычага или переменного давления среды. При изгибе диафрагмы в одну сторону происходит всасывание газа, при изгибе в другую – нагнетание. Благодаря сухому форвакуумному насосу и обновлённому турбомолекулярному насосу посты серии Mini Task позволяют получить при работе все плюсы безмасленой откачной системы: чистая рабочая область, продолжительное время службы до первого технического обслуживания, обеспечение высоких показателей по давлению в вакуумной камере. Небольшой вес оборудования позволяет переносится его в небольшом рабочем пространстве.
Техническая спецификация
| Используется с фланцами | NW40 | ISO63 | CFF63 |
|---|---|---|---|
| Продуктивность (измеряется по откачке азота), литер/секунду | 40 | 60 | 60 |
| Максимальный вакуум, миллибар | 2 х 10-7 | 5 х 10-8 | |
| Выход на штатный режим откачки, секунды | Не больше 122 секунд | ||
| Откачка тестового объёма (1литров), секунды | За 160секунд до 7х10-5миллибар | ||
| Каналы получения данных | Цифровой RS 232 | ||
| Используемый вакуумметр | Активный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар | ||
| Используемое ПО | T-Plus | ||
| Вес поста, килограммы | 7.5 | ||
Откачные посты серии TPS-Mobile это модульные, настраиваемые насосные системы высокой производительности смонтированные на передвижной тележке. В данных откачных постах используются обновлены высоковакуумные турбомолекулярные насосы малого и среднего размеров: TwisTorr и Turbo-V. Для форвакуума возможен выбор насоса: либо безмасляные спиральные серии IDP, либо масленые пластинчато-роторные насосы серии DS, а также возможно выбрать конфигурацию со вмонтированным отсекающим клапаном для низковакуумного насоса, что позволяет получить полная защиту системы от проброса воздуха в случае отключения питания. Системы TPS-Mobile монтируются с разными вакуумметрами, которые позволяют фиксировать давлений в любом диапазоне. Мобильные откачные посты данной серии поддерживают стандарты сетевого напряжения по всему миру и отвечают мировым стандартам безопасности.
Поставляемые форвакуумные насосы для комплектации откачных постов TPS-MOBILE:
Спиральные безмасляные насосы:
- Модель IDP-3. Продуктивность 50 лит/м при 50Гц
- Модель IDP-7 Продуктивность 120 лит/м при 50Гц
- Модель IDP-15 Продуктивность 214 лит/мин при 50Гц
- Модель PTS-300 (с отсекающим клапаном VPI). Продуктивность 250 лит/мин при 50Гц
- Модель PTS-600 (с отсекающим клапаном VPI). Продуктивность 420 лит/мин при 50Гц
Масляные пластинчато-роторные насосы:
- Модель DS102. Продуктивность 95 лит/м при 50Гц
- Модель DS202. Продуктивность 160 лит/м при 50Гц
- Модель DS302. Продуктивность 237 лит/м при 50Гц
- Модель DS402. Продуктивность 342 лит/м при 50Гц
- Модель DS602. Продуктивность 504 лит/м при 50Гц
Поставляемые высоковакуумные турбомолекулярные насосы для комплектации откачных постов TPS-MOBILE:
- Модель TwisTorr74FS. Продуктивность 67 лит/м по азоту.
- Модель TwisTorr304FS. Продуктивность 250 лит/м по азоту
- Модель Turbo-V551Navigator. Продуктивность 550 лит/м по азоту
Техническая спецификация
| TwisTorr74FS | TwisTorr304FS | Turbo-V551Navigator | |
|---|---|---|---|
| По азоту | 67 | 250 | 550 |
| Для безмасляного форвакуумного насоса | 5x10-9 | 5x10-10 | 5x10-10 |
| Для масляного форвакуумного насоса | 5x10-10 | ||
| Диапазон давлений 1.3x10-3 – 2.6x10-9 миллибар | Для высокого вакуума - IM-500 с конфигурацией фланцев KF25/KF40/CF40 | ||
| Диапазон давлений 1000 – 5x10-9 миллибар | Используется контролер XGS600 для низкого вакуума - ConvecTorr использует фланец KF25 для высокого вакуума - IMG-100 использует фланец KF25 |
||
| Диапазон давлений 1000 – 2.6x10-9 миллибар | Используются широкодиапазонные вакуумметры FRG-700/FRG 720 с конфирмацией фланцев KF25/CF40 | ||
Откачные посты серии TPS-FLEXY это гибкие, безмасляные, модульные решения адаптируемые к различным задачам. Возможность собрать собственную откачную вакуумную систему TPS-flexy на базе турбомолекулярного насоса TwisTorr74FS или TwisTorr304FS и сухого спирального форвакуумного насоса IDP-3 или IDP-7, или диафрагменного форвакуумного насоса MD-1. Откачные посты данного типа также могут комплектоваться встроенным или внешним, для монтирования в стойку, контроллером с поддержкой считывания показаний вакуумметра. Модульная конструкция системы TPS-FLEXY позволяет каждый компонент поста заменить отдельно, что обеспечивает простое обновление конфигурации при смене требований к системе, а также легкое и быстрое техническое обслуживание на месте.
Техническая спецификация
| TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS и диафрагменным насосом MD-1 | TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 84 FS и сухим спиральным насосом IDP-3 | TPS-Compact с турбомолекулярным насосом TwisTorr 304 FS FS и сухим спиральным насосом IDP-7 | |
|---|---|---|---|
| Используется с фланцами | KF40/ISO63/CF63 | ISO63/CF63 | ISO100 |
| Продуктивность (измеряется по откачке азота), литер/секунду | 38/52/52 | 57 | 250 |
| Максимальный вакуум, миллибар | Для фланцев KF40/ISO63 2х10-7 Для фланцев CF63 5х10-8 | Для фланцев ISO63 1х10-8 Для фланцев CF63 1х10-9 | 5х10-9 |
| Выход на штатный режим откачки, секунды | 122 | 144 | 144 |
| Откачка тестового объёма (1литр), секунды | За 140секунд до 5х10-5 миллибар | За 400секунд до 1,3х10-5 миллибар | Нет данных |
| Откачка тестового объёма (14литров), секунды | Нет данных | Нет данных | За 160секунд до 1,3х10-5миллибар |
| Каналы получения данных | Цифровой RS 232 | Цифровой RS 232 | Цифровой RS 232 |
| Используемый вакуумметр | Нет данных | Нет данных | Активный вакуумметр типа FRG-700(фланцы:KF25 или CFF40) диапазон работы: 1000 - 5x10-9 миллибар |
| Используемое ПО | T - Plus | T - Plus | T - Plus |
| Вес поста, килограммы | 7.7 | Нет данных | Нет данных |