Вакуумные клапаны

ВАКУУМНЫЕ КЛАПАНЫ

Вакуумные клапаны – это компоненты, которые структурно организовывают вакуумные системы, позволяют получить изоляцию различных ее частей, а также обеспечивают по очередность откачки и натекания.

Геометрическая конструкция вакуумных клапанов может быть как прямой так и угловой, однако более потребляема сейчас является именно угловая конструкция вакуумного клапана. Прямоточные устанавливаются на прямом участке трубы и могут применяться как для регулирования потока так и отсекать его, угловые клапана чаще всего используются для отсечения, или герметизации.

Вакуум | Клапани суцільнометалеві | vacuum | novations
Вакуум | Алюмінієві клапани | vacuum | novations
Вакуум | Алюмінієві вентильні клапани | vacuum | novations
Вакуум | ізоляційний клапан | vacuum | novations
Вакуум | вакуумний натікач | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Вакуумные клапаны имеют различные размеры и этим определяется разная пропускная способность клапана. Чтобы гарантировать химическую стойкость рабочей системы, учитывая потребности всех необходимых условий среды, клапаны изготавливаются из различных материалов. В зависимости от функций, которые обеспечивает при работе вакуумной системы, клапаны подразделяются на: отсекающие (пропускающие) и вращающие.

  • Отсекающие (пропускающие) клапаны применяются, чтобы открывать и закрывать проход потока по рабочей среде, однако их не используют, чтобы регулировать уровень потока. Основным элементом при работе клапана используются: разной формы металлические пластинки, цилиндрические валы или мембраны.
  • Изоляционные клапаны. Такой тип клапанов применяется, чтобы остановить нежелательный приток, который часто возникает при отсоединении определенного оборудования. Изоляционные клапаны полностью отсекают поток, который проходит в обратном направлении к направлению работы системы, предотвращая выход из строя оборудования и обеспечивают соблюдение всех необходимых технологических процессов.

По способу активации клапаны подразделяются на: ручные, пневматические, электромеханические и электромагнитные. Электромеханические клапаны используются как клапаны – предохранители при проверке работоспособности рабочей системы, это актуально вакуумным системам, где есть большие перепады давления. Электромагнитные клапаны обычно используются при регулировании потока газа для отсечения потока, и использоваться только на полное пропускания или отсечения потока.

Клапаны цельнометаллические UHV серии 54

Вакуумные клапаны от компании Agilent в партнерстве с VAT UHV серии 54 специально разработаны для организации высоковакуумных систем, с температурой нагрева не ниже 300°С. При таких вакуумных системах невозможно использовать эластомеры и металлы с низкими температурами плавления. Клапаны вручную монтируются стандартным шестигранным ключом. Благодаря жесткому, твердому металлическому уплотнению эти клапаны могут гарантировано выдержать работу в тысячи циклов, прежде чем требовать технического обслуживания. Диапазон работы таких клапанов от атмосферного давления до 10-11 миллибар

Основные характеристики

 UHV серии 54
Номинальное натекание< 1 x 10 -10 миллибар x л/с
Область рабочего вакуума1 атмосфера – 10-11 миллибар
Выносливость≥ 1000 циклов
Максимальная температура≤ 300°С, для закрытого и открытого положений
Скорость нагрева и охлаждения60°С/час
Тип индикации позиционированиявизуальный (за счет механизма)

Алюминиевые клапаны серии 26

Вакуумные компоненты от производителя Agilent в партнерстве с VAT серии 26 это, надежные клапана позволяющие структурировать низко- и высоковакуумных системы для работы на полупроводниковой и приборостроительной промышленности, а также для исследовательских лабораторий. В большинстве случаев, алюминиевые клапаны имею блочный тип и выдерживают 3 миллионов рабочих циклов до необходимого технического обслуживания. Данные клапана доступные как в прямой так и угловой конструкции, а также по способу активации могут быть как ручными так и пневматическими. Клапан пневматического срабатывания также доступен с определением положения (подача электрического выходного сигнал, когда начинается цикл клапана, и устанавливается оператором в состоянии: открытый – закрытый ).

Основные характеристики

 Серия 26
Количество циклов до первого обслуживания3 миллиона (под пневмоуправлением),
10000 (от ручного управления)
Максимальные температуры≤ 150°С (корпус клапана),
≤ 120°С (ручной и пневматический привод)
≤ 80°С (электромагнитный клапан, индикатор позиции)
Электромагнитный клапан24V DC, 115V AC, 220V AC
Возможность установкив любом положении
Тип индикации положениявизуальный (за счет механизма)

Алюминиевые отсекающие клапаны серии 12 (Gate Valves)

Затворные клапаны серии 12 обеспечивают узкий профиль и малое количеством выбросов частиц при изоляции высоковакуумного насоса. и дешевле чем клапана произведенные с нержавеющей стали. Затворные клапана серии 12 это высокоэффективные экономические механизмы с плавным приводом. В алюминиевом отсекающем клапане имеется небольшой фланцевый профиль, который облегчает установку и обслуживание. Клапаны доступны в ручном, толкательном и пневматическом режимах двойного действия. Пневматические клапаны доступны с электромагнитными клапанами: на 115 В переменного тока; 220 В переменного тока; или 24 В постоянного тока а также имеется индикатор положения.

Основные характеристики

 Серия 12
Область рабочего вакуумаодна атмосфера до 10-7 мбар
Максимальная температура150°С
Метал корпусаалюминий
Уплотнитель цилиндравитон
Область утечки на уплотнителе<1x10-9атмосфер x см3/сек (измерение гелия)
Диапазон утечки на корпусе<1 x10-10атмосфер x см3/сек (измерение гелия)
Подключение пневматики1/8 в/ NPT
Выносливость1млн. циклов
Время срабатыванияменее 2 сек (при открытии или закрытии)
Рабочее давлениеот 4 атмосфер до 7 атмосфер
Пропускная способностьISO от 63 до 550 лит/с; ISO от 100 до 2000 лит/с; ISO от 160 до 7000 лит/с; ISO от 250 до 26000 лит/с

Электромагнитные клапана производства Agilent

Экономные клапана, не требующие дополнительного тех.обслуживания, просты при монтировке вакуумной системы благодаря имеющимся быстросъемным соединениям. Доступны два фланца: Klamp Flange NW 16 и NW 25. Управляющее напряжение 12 В либо 24 В постоянного тока, 220В (50/60 Гц), 240В (50Гц), 115В (50/60 Гц), 200В (60 Гц).

Основные характеристики

 Клапана Agilent
Диапазон рабочих давленийот 1 атмосферы до 10 -6 миллибар (алюминиевый корпус); 1 атмосфера - 10 -9 мбар (никелево-платиновый корпус)
Номинальное натеканиеот 1 атмосферы до 10-9 мбар
Максимальная температура125°С (положение - закрытый)
Срок службы250 000 циклов
Мощность23 Вт
Время смены положенияОткрывание - 50 мс; Закрывание - 25 мс
Пропускная способностьKF 16 – 2,2 л/с KF 25 – 3,5 л/с

Изоляционный клапан от производителя Agilent

Клапан подключен параллельно питанию механического насоса. Клапан находится в открытом состоянии пока подается питание на насос, при выключении питания – клапан закрывается, тем сами отсекая поток частиц, идущих в обратном направлении из насоса, в рабочую систему. Изоляционный клапан также обеспечивает вентиляцию насоса на входе, проталкивая имеющий мусор к выходу насоса исключая возможность его попадание у вакуумную систему при повторном включении механического  насоса. Геометрия клапана – прямоугольная позволяет получить максимально возможную пропускную способность.

Основные характеристики

 Клапан изоляционный
Используемый материалдля корпуса - алюминий Т6061-Т6; для штока - алюминий 2024; для уплотнителя - витон
Рабочая мощность7 Вт
Время срабатывания30 мс
Присоединение фланцемKF 25; KF 40
Область утечки на корпусе<1x10-10атмосфер x см3/сек (используя гелий)
Область утечки на уплотнителе<1x 10-10атмосфер x см3/сек (используя гелий)
Рабочие температурыклапана 0 - 100°С, электромагнита 0 - 500°С;
Пропускная способностьKF 25 – 13 лит/с; KF 40 – 33 лит/с

Вакуумный натекатель Variable Leak Valve

Натекатель Variable Leak Valve доступен с ручной активацией, подвижным стержнем с оптически гладким сапфиром, что находится в контакте с закрепленной прокладкой сделанной с метала. Такая технология производства клапана гарантирует получение уплотнения, где не присутствует трение, заедание или смещение. Для изменения местоположения сапфира имеется резьбовой механизм с валом и рычагом, позволяющий получить улучшение по силе 13000: 1

Основные характеристики

 Вакуумный натекатель Variable Leak Valve
Контролируемая граница утечек10-10 мбар x лит/сек
Область рабочего вакуумаодна атмосфера - 10-11 мбар
Номинальное натекание<1x10-10атмосфер x см3/сек (используя гелий)
Максимальный пропускной поток6 лит/мин
Максимальная температура450°С
Подключение фланцемCFF 40

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: