ВАКУУМНЫЕ КЛАПАНЫ
Вакуумные клапаны – это компоненты, которые структурно организовывают вакуумные системы, позволяют получить изоляцию различных ее частей, а также обеспечивают по очередность откачки и натекания.
Геометрическая конструкция вакуумных клапанов может быть как прямой так и угловой, однако более потребляема сейчас является именно угловая конструкция вакуумного клапана. Прямоточные устанавливаются на прямом участке трубы и могут применяться как для регулирования потока так и отсекать его, угловые клапана чаще всего используются для отсечения, или герметизации.
Вакуумные клапаны имеют различные размеры и этим определяется разная пропускная способность клапана. Чтобы гарантировать химическую стойкость рабочей системы, учитывая потребности всех необходимых условий среды, клапаны изготавливаются из различных материалов. В зависимости от функций, которые обеспечивает при работе вакуумной системы, клапаны подразделяются на: отсекающие (пропускающие) и вращающие.
- Отсекающие (пропускающие) клапаны применяются, чтобы открывать и закрывать проход потока по рабочей среде, однако их не используют, чтобы регулировать уровень потока. Основным элементом при работе клапана используются: разной формы металлические пластинки, цилиндрические валы или мембраны.
- Изоляционные клапаны. Такой тип клапанов применяется, чтобы остановить нежелательный приток, который часто возникает при отсоединении определенного оборудования. Изоляционные клапаны полностью отсекают поток, который проходит в обратном направлении к направлению работы системы, предотвращая выход из строя оборудования и обеспечивают соблюдение всех необходимых технологических процессов.
По способу активации клапаны подразделяются на: ручные, пневматические, электромеханические и электромагнитные. Электромеханические клапаны используются как клапаны – предохранители при проверке работоспособности рабочей системы, это актуально вакуумным системам, где есть большие перепады давления. Электромагнитные клапаны обычно используются при регулировании потока газа для отсечения потока, и использоваться только на полное пропускания или отсечения потока.
Клапаны цельнометаллические UHV серии 54
Вакуумные клапаны от компании Agilent в партнерстве с VAT UHV серии 54 специально разработаны для организации высоковакуумных систем, с температурой нагрева не ниже 300°С. При таких вакуумных системах невозможно использовать эластомеры и металлы с низкими температурами плавления. Клапаны вручную монтируются стандартным шестигранным ключом. Благодаря жесткому, твердому металлическому уплотнению эти клапаны могут гарантировано выдержать работу в тысячи циклов, прежде чем требовать технического обслуживания. Диапазон работы таких клапанов от атмосферного давления до 10-11 миллибар
Основные характеристики
| UHV серии 54 | |
|---|---|
| Номинальное натекание | < 1 x 10 -10 миллибар x л/с |
| Область рабочего вакуума | 1 атмосфера – 10-11 миллибар |
| Выносливость | ≥ 1000 циклов |
| Максимальная температура | ≤ 300°С, для закрытого и открытого положений |
| Скорость нагрева и охлаждения | 60°С/час |
| Тип индикации позиционирования | визуальный (за счет механизма) |
Алюминиевые клапаны серии 26
Вакуумные компоненты от производителя Agilent в партнерстве с VAT серии 26 это, надежные клапана позволяющие структурировать низко- и высоковакуумных системы для работы на полупроводниковой и приборостроительной промышленности, а также для исследовательских лабораторий. В большинстве случаев, алюминиевые клапаны имею блочный тип и выдерживают 3 миллионов рабочих циклов до необходимого технического обслуживания. Данные клапана доступные как в прямой так и угловой конструкции, а также по способу активации могут быть как ручными так и пневматическими. Клапан пневматического срабатывания также доступен с определением положения (подача электрического выходного сигнал, когда начинается цикл клапана, и устанавливается оператором в состоянии: открытый – закрытый ).
Основные характеристики
| Серия 26 | |
|---|---|
| Количество циклов до первого обслуживания | 3 миллиона (под пневмоуправлением), 10000 (от ручного управления) |
| Максимальные температуры | ≤ 150°С (корпус клапана), ≤ 120°С (ручной и пневматический привод) ≤ 80°С (электромагнитный клапан, индикатор позиции) |
| Электромагнитный клапан | 24V DC, 115V AC, 220V AC |
| Возможность установки | в любом положении |
| Тип индикации положения | визуальный (за счет механизма) |
Алюминиевые отсекающие клапаны серии 12 (Gate Valves)
Затворные клапаны серии 12 обеспечивают узкий профиль и малое количеством выбросов частиц при изоляции высоковакуумного насоса. и дешевле чем клапана произведенные с нержавеющей стали. Затворные клапана серии 12 это высокоэффективные экономические механизмы с плавным приводом. В алюминиевом отсекающем клапане имеется небольшой фланцевый профиль, который облегчает установку и обслуживание. Клапаны доступны в ручном, толкательном и пневматическом режимах двойного действия. Пневматические клапаны доступны с электромагнитными клапанами: на 115 В переменного тока; 220 В переменного тока; или 24 В постоянного тока а также имеется индикатор положения.
Основные характеристики
| Серия 12 | |
|---|---|
| Область рабочего вакуума | одна атмосфера до 10-7 мбар |
| Максимальная температура | 150°С |
| Метал корпуса | алюминий |
| Уплотнитель цилиндра | витон |
| Область утечки на уплотнителе | <1x10-9атмосфер x см3/сек (измерение гелия) |
| Диапазон утечки на корпусе | <1 x10-10атмосфер x см3/сек (измерение гелия) |
| Подключение пневматики | 1/8 в/ NPT |
| Выносливость | 1млн. циклов |
| Время срабатывания | менее 2 сек (при открытии или закрытии) |
| Рабочее давление | от 4 атмосфер до 7 атмосфер |
| Пропускная способность | ISO от 63 до 550 лит/с; ISO от 100 до 2000 лит/с; ISO от 160 до 7000 лит/с; ISO от 250 до 26000 лит/с |
Электромагнитные клапана производства Agilent
Экономные клапана, не требующие дополнительного тех.обслуживания, просты при монтировке вакуумной системы благодаря имеющимся быстросъемным соединениям. Доступны два фланца: Klamp Flange NW 16 и NW 25. Управляющее напряжение 12 В либо 24 В постоянного тока, 220В (50/60 Гц), 240В (50Гц), 115В (50/60 Гц), 200В (60 Гц).
Основные характеристики
| Клапана Agilent | |
|---|---|
| Диапазон рабочих давлений | от 1 атмосферы до 10 -6 миллибар (алюминиевый корпус); 1 атмосфера - 10 -9 мбар (никелево-платиновый корпус) |
| Номинальное натекание | от 1 атмосферы до 10-9 мбар |
| Максимальная температура | 125°С (положение - закрытый) |
| Срок службы | 250 000 циклов |
| Мощность | 23 Вт |
| Время смены положения | Открывание - 50 мс; Закрывание - 25 мс |
| Пропускная способность | KF 16 – 2,2 л/с KF 25 – 3,5 л/с |
Изоляционный клапан от производителя Agilent
Клапан подключен параллельно питанию механического насоса. Клапан находится в открытом состоянии пока подается питание на насос, при выключении питания – клапан закрывается, тем сами отсекая поток частиц, идущих в обратном направлении из насоса, в рабочую систему. Изоляционный клапан также обеспечивает вентиляцию насоса на входе, проталкивая имеющий мусор к выходу насоса исключая возможность его попадание у вакуумную систему при повторном включении механического насоса. Геометрия клапана – прямоугольная позволяет получить максимально возможную пропускную способность.
Основные характеристики
| Клапан изоляционный | |
|---|---|
| Используемый материал | для корпуса - алюминий Т6061-Т6; для штока - алюминий 2024; для уплотнителя - витон |
| Рабочая мощность | 7 Вт |
| Время срабатывания | 30 мс |
| Присоединение фланцем | KF 25; KF 40 |
| Область утечки на корпусе | <1x10-10атмосфер x см3/сек (используя гелий) |
| Область утечки на уплотнителе | <1x 10-10атмосфер x см3/сек (используя гелий) |
| Рабочие температуры | клапана 0 - 100°С, электромагнита 0 - 500°С; |
| Пропускная способность | KF 25 – 13 лит/с; KF 40 – 33 лит/с |
Вакуумный натекатель Variable Leak Valve
Натекатель Variable Leak Valve доступен с ручной активацией, подвижным стержнем с оптически гладким сапфиром, что находится в контакте с закрепленной прокладкой сделанной с метала. Такая технология производства клапана гарантирует получение уплотнения, где не присутствует трение, заедание или смещение. Для изменения местоположения сапфира имеется резьбовой механизм с валом и рычагом, позволяющий получить улучшение по силе 13000: 1
Основные характеристики
| Вакуумный натекатель Variable Leak Valve | |
|---|---|
| Контролируемая граница утечек | 10-10 мбар x лит/сек |
| Область рабочего вакуума | одна атмосфера - 10-11 мбар |
| Номинальное натекание | <1x10-10атмосфер x см3/сек (используя гелий) |
| Максимальный пропускной поток | 6 лит/мин |
| Максимальная температура | 450°С |
| Подключение фланцем | CFF 40 |