Вакуумные датчики

ВАКУУМНЫЕ ДАТЧИКИ

Вакуумметры – это приборы, которые позволяют измерять давление газа меньше одной атмосферы. Выделяют следующие классы вакуумметров:

  • Датчики деформационного типа. В таком приборе давление измеряют анализируя деформацию чувствительного элемента.
  • Датчики компрессионного типа. Измерения проводятся опираясь на законы изотермического сжатия идеального газа.
  • Датчики теплового типа (термопарные). Базируются на анализе зависимости теплопроводности газов от давления.
  • Датчики ионизационного типа. Измеряется давление путем анализа ионизации газа.
Вакуум | датчик | vacuum | novations
Вакуум | датчик | vacuum | novations
Вакуум | датчик | vacuum | novations
Вакуум | датчик | vacuum | novations
Вакуум | датчик | vacuum | novations
Вакуум | Низьковакуумний датчик | vacuum | novations
Вакуум | Низьковакуумний датчик | vacuum | novations
Вакуум | Високовакуумний датчик | vacuum | novations
Вакуум | Високовакуумний датчик | vacuum | novations
Вакуум | Високовакуумний датчик | vacuum | novations
Вакуум | Надвисоковакуумний датчик | vacuum | novations
Вакуум | Надвисоковакуумний датчик | vacuum | novations
previous arrow
next arrow
previous arrownext arrow
Slider

Для измерения в нескольких диапазонах вакуума используют как узко диапазонные вакуумметры (высокоывакуумные и низковакуумные), отдельно для каждой задачи, так и универсальные, широкодиапазонные. Чтобы управлять и контролировать работу вакуумметров используют контроллеры. Датчики, которые работают под управлением внешнего контроллера называются пассивными, а те что имеют встроенный контроллер – активными. В последних внешний контроллер дает только питания и индикацию, а вывод и поддержка режима работы, калибровки и интерпретацию результатов измерения выполняет встроенный контроллер

Для измерения низкого вакуума наиболее часто используются термопарные вакуумметры, например датчиками типа Пирани. Работа такого вакуумметра базируется на законах теплопроводности: при снижении давления откачиваемого газа в рабочего элементе вакуумметра (металлическая пластина) уменьшается теплоотдача. Это связано с тем, что молекулы газа сталкиваясь с рабочим элементом, отбирая у него тепло. Соответственно чем глубже будет вакуум, тем меньше будет молекул, тем реже они будут ударяться о металлическую пластину, и поэтому рабочий элемент становиться горячее. Анализируя эту зависимость получаем информацию о давлении в откачиваемой зоне. Рабочий диапазон датчиков Пираньи находит в пределах от атмосферы до 10-3 миллбар

Для измерения высокого и глубокого вакуума применяют датчики ионизационного типа, например датчики с холодным катодом (датчики с инвертированным магнетроном), или датчики с горячим катодом (вакуумметры серии Байярда-Альперта). Все вакуумметры данного типа работают как ионизационные насосы: возбужденными электронами ионизируется откачиваемый газ. Измеряя установлен ионный ток, можно получить информацию о давлении в вакуумной камере. Рабочий диапазон ионизационных датчиков находится в диапазоне 10-3 до 10-11 мбар

Широкодиапазонные вакуумметры – это, как правило, приборы в которых сочетаются два типа датчиков: тепловые и ионизационные. Например, в комбинированном вакуумметре с вакуумметрами Пирани и Баярд-Альперта, произведенными в одной удобной конструкции, можно проводить измерения давления в диапазоне 10-10 миллибар – атмосфера. Такой вакуумметр обычно содержит встроенный контроллер, который автоматически переключает датчики согласно измеряемого давления. Комбинация данных типов датчиков в один модуль, делает простым и удобным использование и убирает разного типа неудобства при подключение в систему, а также позволяет защитить чувствительный тип датчиков – Баярд-Альперта от преждевременного выгорания.

Вакуумметр с горячем катодом MBA2-200

MBA2-200 – это самый маленький ионизационный датчик Баярда-Альперта (менее 5% объема стеклянного вакуумметра). Цельнометаллическая конструкция этого датчика исключает возможность поломки. Он мало греется, стойкий к выгоранию и монтируется практически в любом месте вакуумной системы.

Вакуумметры термпорные 531/536

Термопарные модели вакуумметров 531 и 536, идеально подходящие для применения при низком вакууме, измеряют давление в диапазоне от 1×10-3 миллибар до 2,5 миллибар. 531 тип датчика имеет корпус из никелированной стали, а 536 имеет цельный корпус из нержавеющей стали 304L, также данный датчик имеет перегородку, продлевающую срок службы в присутствии конденсирующихся газов и улучшающую производительность при более высоких давлениях.

Вакуумметры Баярда-Альперда в корпусе 563/571/572

Ионизационные датчики с горячим катодом Баярда-Альперта для источника электронов используют нагретую вольфрамовую двойную нить, которая поддерживает работу вакуумметра даже после выгорания одной из нитей. Вакуумметры Баярда-Альперда обеспечивают высокую производительность в диапазоне 1×10-3 – 3×10-10миллибар. Данные вакуумметры могут выдержать большой период дегазации  при рабочих температурах и сохранить первичные характеристики без изменений. Также доступен эталонный датчик, запечатанный при давлении ≤ 7×10-6 миллибар для использования при тестировании контроллера вакуумметра. Датчики данного типа доступны в различных трубках.

Вакуумметр Баярда-Альперда безкорпусный UHV – 24/ UHV – 24р

Вакуумметры Баярда-Альперта используют разогретую вольфрамовую нить как источник электронов. При выгорание ее легко заменяется. UHV-24 имеет широкий диапазон давлений до 3х10-10миллибар. Из-за своего малого диаметра и герметичной структуры его скорость ионизации  вдвое выше, чем у других ионизационных датчиков. Данный тип вакуумметров применяется в условиях высокого вакуума.

Вакуумметр ConvecTorr/ Симулятор ConvecTorr

Вакуумметр ConvecTorr от компании Agilent это идеальный выбор для проведения измерений при  частых низковакуумных откачка. ConvecTorr предлагает постоянные и стабильные значения давления при температуре от 00C до 500C. Вакуумметр оптимизирован для конвекционного охлаждения, что дает превосходные показания при более высоких давлениях.

Вакуумметр с инвертированным магнетроном IMG-100

Инвертированный магнетронный датчик IMG-100 дает точные, воспроизводимые показания давления. Данный вакуумметр может использоваться в грязных или агрессивных средах. Их характеристики измерения аналогичны показателям датчиков Баярда-Альперта, но, как и датчики с холодным катодом, их легко чистить и ремонтировать без ограничений, которые есть у большинства вакуумметров с холодным катодом. Эти особенности делают IMG-100 идеальным выбором для использования в вакуумных печах и других промышленных системах, где первостепенное значение имеет прочность.

Глубоковакуумный вакуумметр с инвертированным магнетроном IMG-300 UHV

Инвертированный магнетронный вакуумметр IMG-300 UHV от компании Agilent используется для измерений значений давлений при глубоком вакууме. В данном диапазоне вакуума стабильное измерение сверхвысокого давления и быстрая реакция на изменения давление одинаково важны. При использование вакуумметров с инверторным магнетроном происходит минимальное выделение газа изнутри датчика, поскольку нет горячей нити. Вакуумметр не имеет эмиссии электронов или фотонов, поэтому нет никаких нарушений в экспериментальном процессе. IMG-300 легко соединяется с контроллером XGS-600 для интеграции в различные вакуумные системы или для использования в качестве автономного инструмента измерения давления.

Спецификация для пассивных вакуумметров

Тип вакуумметраПодключение к вакуумуДиапазон давлений, мбарРаботает з контролером
Вакуумметр 531KF 16 / KF 25 / CF 161x10-3 - атмосфераXGS - 600 / RGC -100 / RGC - 150
Вакуумметр 536KF 16 / KF 25 / CF 161x10-3 - атмосфераXGS - 600 / RGC - 100 / RGC - 150
Вакуумметр ConvecTorrKF 16 / KF 25 / CF 161x10-4 - атмосфераXGS - 600
Вакуумметр IMG-100KF 25 / KF 40 / CF 407x10-9 - 1x10-3XGS - 600
Вакуумметр 563KF 25 / KF 40 / CF 40 3x10-10 - 1x10-3 XGS - 600
Вакуумметр 571KF 25 / KF 40 / CF 405x10-10 - 7x10-1XGS - 600
Вакуумметр 572KF 25 / KF 40 / CF 40 3x10-10 - 1x10-3XGS - 600
Вакуумметр MBA2-200CF 164x10-10 - 7x10-2XGS - 600
Вакуумметр IMG-300UHVCF 407x10-11 - 1x10-3XGS - 600
Вакуумметр UHV-24CF 403x10-11 - 1x10-3XGS - 600
Вакуумметр UHV-24рCF 407x10-12 - 1x10-3XGS - 600

Вакуумметр мембранный CDG-500

Мембранный вакуумметр с компенсацией температуры CDG-500 позволяет получить высокую точность значений давлений для области низкого вакуума. В CDG-500 используется устойчивая к коррозии мембрана – алюминий оксидная керамика, обеспечивающая стабильность сигнала, короткое время прогрева и высокую надежность.

Вакуумметр Пирани с инвертированным магнетроном FRG – 700/702

Вакуумметры Пирани FRG – 700/702 представляет собой прибор, который проводят полноценные измерения давления в диапазоне 5×10-9 миллибар – атмосферы. Компактное устройство с одним аналоговым сигналом на выходе значительно упрощает установку, калибровку и подсоединение. FRG-702 является цельнометаллической версией FRG-700, включающей соединения с металлическим уплотнением. Он может работать при более высоких температурах (макс. 150oC на фланце), чем FRG-700 (макс. 55oC на фланце).

Вакуумметры комбинированные Пирани и Баярда-Альперта FRG-720/730

Серия широкодиапазонный вакуумметров FRG-720/730 объединяет в общую удобную конструкцию датчики Пирани и Баярда-Альперта обеспечивая измерение от 5х10-10 миллибар до атмосферы. Объединенная технология снижает сложность и проблемы соединения, позволяет защитить датчик Баярда-Альперта от раннего выгорания. Долговечная иридиевая нить покрытая оксидом иттрия обеспечивает прочную конструкцию для широкого спектра применений. Дополнительные опции Profibus и ЖК-дисплей облегчают интеграцию в сеть и позволяют легко контролировать показания давления

Вакуумметры мембранные Пирани PCG-750/752

Активные мембранные вакуумметры PCG-750 и PCG-752 объединяют в один корпус датчики Пирани и керамическо-мембранные вакуумметры, чтобы обеспечить независимость от типа газа и повышенную точность при измерении давлений от атмосферного до 5х10-5мбар. Высокая точность и повторяемость полученных результатов обеспечивают надежный мониторинг системы. Быстрое обнаружение в атмосфере сокращает время технологического цикла. Прочный, компактный корпус монтируется в любой ориентации для легкой интеграции в вакуумную систему. Контроль уставки использует показания давления для выполнения критических операций. Вакуумметры PCG-750/752 имею в своей конструкции сменный датчик Plug-and-Play, который обеспечивает простоту технического обслуживания оборудования. Вариант с никелевой нитью обеспечивает решение для агрессивных сред. Опционально цветной ЖК-дисплей позволяет легко контролировать показания давления

Вакуумметры серии Пираны PVG-500/500S/502S

У вакуумметрах данной серии используется самая передовая цифровая технология Pirani в сочетании с конструкцией сенсора из нержавеющей стали обеспечивает наилучшее сочетание инновационных технологий и прочности в компактном исполнении. Даннные вакуумметры имеют упрощенную интеграция с системой, прочный алюминиевый корпус, который монтируется в любой ориентации. Простая калибровка с помощью кнопок (ATM) и (HV ). Модель 502S имеет конфигурацию с никелевой нитью что бы применять данные вакуумметры в агрессивных средах. Дополнительные уставки, позволяющие использовать показания давления для критических операций.

Спецификация для активных вакуумметров

Тип вакуумметраПодключение к вакуумуДиапазон давлений, мбарВремя реакции, секундыРаботает з контролером
Вакуумметр CDG-500KF161x103 – 100,03XGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Вакуумметры PVG-500/500S/502SKF 161x103 – 5x10-40,08XGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Вакуумметры PCG-750/752KF 161,5x103 – 5x10-50,03XGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Вакуумметры FRG-700/702KF 25 / CF 401x103 – 5x10-90,2XGS-600 / RGC-100 / RGC-150

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: