ВАКУУМНАЯ АРМАТУРА И КОМПОНЕНТЫ
Вакуумная арматура это приборы и элементы, которое применяется для конструирования и организация работы любой вакуумной системы. Вакуумная арматура должна быть надежной, обеспечивать необходимую герметичность, износостойкость. Элементы для вакуумной системы выбирают в зависимости от вида необходимых работ, а также от прописанного технологического процесса.
Вакуумную арматуру по принципу работы разделяют на:
-
Регулировочная и ограничительная вакуумная арматура. Это приборы или элементы, которые применяются для ограничения части откачиваемого потока или отсечения полностью всей рабочей камеры. Используются также приборы, которые организуют выполнение процессов откачки газа в рабочую камеру. К этому виду арматуры относятся: клапана, затворы, различные натекатели вакуума и прочее.
-
Соединительная вакуумная арматура, это преимущественно конструкционные базовые элементы любых вакуумных систем, которые могут применяться для подключения различных важных узлов системы или дополнительного оборудования. К ним относятся: фланцы, фитинги, гофры, заглушки, сильфоны, уплотнители, трубы, переходники, разветвители и другие элементы вакуумных соединений.
При выборе регулировочной и ограничительной вакуумной арматуры при конструировании вакуумной системы нужно: обеспечить необходимую пропускную способность, возможность отсечения потока, герметичность, возможность дистанционного контроля и прочее.
Соединительная вакуумная арматура, зачастую это разъемные фланцы, в данный час, должна соответствовать стандартам: ISO – KF (NW) и СF. Стандарты ISO – KF (NW) используются для фланцев с резиновым уплотнением (эластомер), данный материал обладает хорошей износостойкостью, долговечностью эксплуатации и устойчив к сжатию. Фланцы, изготовленные по этому стандарту, обычно используются для систем низкого и глубокого вакуума. Стандарты СF это фланцы с металлическим уплотнением. Фланцы с такими стандартами соединений используются в конструирования рабочих камер высокого и сверхвысокого вакуума.
Вращательный ввод обеспечивает надежную работу без утечек для высоко и сверхвысоко вакуумных систем. Большие прочные керамическо-металические уплотненители гарантируют максимально надежную работу в широком диапазоне вакуумных применений.
Типы ввода включают в себя:
- Вращательное движение
- Высоковольтная проводимость
Основные характеристики
| Вращательный ввод | |
|---|---|
| Границы работы вакуума | От атмосферного до 10 -11 мбар |
| Момент вращения | 150 дюйм х унцию |
| Скорость | 200 об / мин |
| Температура | -1960С до + 1500С (диапазон рабочих температур) |
| Вращение | Может непрерывно вращаться в любом направлении |
| Ресурс | 50000 полных оборотов, номинальная максимальная 300 ° C (отжиг) |
Высоковольтный ввод Фишера до 12 кВ на фланце Mini-ConFlat
| Высоковольтный ввод | |
|---|---|
| Номинальное напряжение | (ниже 10-4 мбар) - 12 кВ ввода Фишера |
| Допустимый ток | 1А |
| Допустимые температуры | 196˚C - + 450˚C |
| Фланец соединения | 1.33” Mini-ConFlat |
| Корпуса | произведён из нержавеющей стали |
Фланцы модельного ряда ConFlat (CF)
Фланцы от производителя Agilent серии ConFlat установили высокие отраслевые стандарты при производстве вакуумных фланцев . Используя уникальные производственные процессы и технологии, Agilent Technologies обеспечивает высокую герметичность в фланцах серии ConFlat. Основным материалом при производстве фланцев используется нержавеющая сталь марки 304 ESR или 304L. Нержавеющая сталь ESR изготавливается с применением технологии электрошлакового переплава (Electro Slag Remelting). Этот процесс изготовления ESR позволяет улучшить качество нержавеющей стали и обеспечивает высокую чистоту, уменьшение количества включений, равномерную структуру.
Основные свойства:
- Эффективная работа с точки зрения герметичности
- Доступны в размерах 1.33” – 13,25”
- Поворотные и не поворотные модели
- Нержавеющая сталь ESR
- Доступно большое разнообразие фитингов вакуумных рукавов, подводов движения, переходников, подводов тока и фурнитуры.
Основные характеристики
| ConFlat | |
|---|---|
| Двофланцевый сильфон, имеет оплетку, гофрированный | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Патрубок Т-подобной формы, имеет фланцы | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Поворотные фланцы и неповоротные фланцы | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Использование переходника при переходе трубу из стекла | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Приварной патрубок имеет один фланец | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Двофланцевый патрубок | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Патрубок угловой формы | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Патрубок крестоподобной формы | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Использование переходника при переходе с CF на ISO | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF 200, CFF275 |
| Использование переходника при переходе с CF на KF | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF 200, CFF 275 |
| Использование переходника при переходе с CF на CF | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF 100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Использование переходника при переходе с CF на гайку Swagelok для обжима | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF 275 |
| Использование переходника при переходе с CF на внешнее или внутреннее резьбовое соединение | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Двофланцевый сильфон, гофрированный | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
| Окна смотровые : стекло, сапфир (немагнитные) | CFF16, CFF40, CFF50, CFF63, CFF100, CFF130, CFF160, CFF200, CFF275 |
ISO фланцы, фитинги, гофры и другая арматура
Фланцы и фитинги ISO предназначены для использования в системах требующих разборок и зборок, при этом необходимый диаметр труб обычно больше 2”. Все фланцы и фитинги ISO произведенный из нержавеющей стали 304L. Эти фланцы используются при рабочем вакууме: атмосфера -10-8 миллибар позволяют поддерживать отжиг до температур в 1500С используют уплотнитель Viton O-rings.
Основные характеристики
| ISO фланцы, фитинги, гофры и другая арматура | |
|---|---|
| Кольца для центрирования | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Т-образный патрубок с фланцами | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Фланцы | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250, ISO400, ISO500 |
| Заглушки | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Струбцины | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Уплотнитель | Viton, Cilicone, Buna-M |
| Однофланцевые патрубки | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Двуфланцевые патрубки | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Патрубок углоподобной формы | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Патрубок крестообразной формы | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Переходники при смене ISO | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Переходники при смене ISO | KF ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Переходники при смене ISO | CF ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Переходники при смене ISO | гайкв Swagelok для обжима ISO63, ISO80, ISO100, ISO1 |
| Переходники при смене ISO | соединение резьбового типа ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
| Сильфон | ISO63, ISO80, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 |
Фланцы KF спроектированые соответсвенно ISO, работают в диапазоне: атмосфера – надвысокий вакуум. Фланцы KF произведены из нержавеющей стали 304L, скорость натекания меньше 10-9 см3/секунд, возможно нагревание до 1500C используя конфигурацию с уплотнительными кольцами O-Ring Viton.
Klamp фиксация и арматура
Используя конструкцию зажима для легкой установки, эта арматура предлагает быстрое и простое решение при проектирования и составления рабочей системы. Применяя уплотнение Viton O-Ring зажимы Klamp могут выдерживать нагревание до 1500C, используються для систем с высоким и сверхвысоким вакуумом.
Основные характеристики
| Кламповые подключения (Klamp Flanges) | ||
|---|---|---|
| Хомуты | KF 10/16, 25, 40, 50 | произведенный из алюминия |
| Кольца центрирования | KF 10/16, 25, 40, 50 | произведенный из – алюминий, нержавеющая сталь |
| Заглушки | KF10/16, 25, 40, 50 | произведенный из – алюминий, нержавеющая сталь |
| Уплотнитель | KF 10/16, 25, 40, 50 | Viton, Buna-M |
| Однофланцевый патрубок | KF 10/16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Поливинилхлоридный усиленный шланг для вакуума | KF 16, 25, 40, 50 | Нержавеющая сталь |
| Углоподобный патрубок | KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Крестообразный патрубок | KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Переходники при смене | KF - ISO KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Переходники при смене | KF - KF KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Переходники при смене | KF - CF KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Переходники при смене | KF - гайка Swagelok для обжимания KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Переходники при смене | KF резьбовое соединение KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
| Рукав для вакуума, Сильфон | KF 16, 25, 40, 50 | произведенный из нержавеющей стали |
Agilent предлагает широкий выбор размеров контейнеров и типов жидкостей для диффузионных насосов. Возможный подбор необходимого типа жидкости и необходимого размера контейнера, которые будет соответствовать требованиям конкретной заявки.
В линейке предоставлены точные заправки для обслуживания многих диффузионных насосов компании Agilent, включая VHS-6 и VHS-10. Такая заправка позволяют приобрести достаточное количество жидкости для заполнения диффузионного насоса при этом избежать дорогих отходов. Это также устраняет проблемы, связанные с утилизацией остаточной жидкости диффузионного насоса связано с наполнением насоса.