ГЕЛІЄВІ ТЕЧЕШУКАЧІ
Гелієвий течешукач це прилад для виявлення, локалізація та проведення кількісної оцінки течі в будь-яких ємностях, резервуарах і інших замкнутих об’ємах, в тому числі і в вакуумних системах. Робота гелієвого течешукача базується на газоаналітичному методі: проведенні якісного аналізу повітря на наявність в ньому пробного газу (гелію), що надходить через натікання, або витоку.
В залежності від мети застосування течешукача визначають типові техніки роботи з розміщенням детектора: «з середини – на зовні» та «ззовні – в середину».
- Для першої техніки досліджень, детектор пробного газу, підключають до робочої камери, в якій забезпечується потрібний рівень вакууму. Зовні камера локально обдувається гелієм. Детектор аналізує склад відкачуваного газу і детектує атоми гелію. Для локалізації течі обдув проводять тільки в певних критичних місцях (швах, важливих елементах, фланцях і інше). По кількості детектованого гелію можливо зробити якісну оцінку величини натікання (багато чи мало). Для точного визначення величини натікання, камеру розміщують у замкненому об’ємі, заповненому гелієм, і проводять вимірювання детектором у рівноважному стані.
- В іншому варіанті, детектор знаходиться зовні робочої камери, а в саму камеру нагнітається гелій. До детектора підключається щуп (ніс), який забезпечує відбір газу з різних місць зовні робочої камери. Детектор аналізує відібраний газ, детектує гелій і знаходиться місце локалізації течі. Вимірювання величини натікання проводиться при розміщенні всієї системи (робочої камери з гелієм і течешукача) в закритий об’єм, де забезпечується певний рівень вакууму.
Гелієві течешукачі поділяються також по принципу детектування.
Течешукач з детектором селективної відкачки. Це маленький іонізаційний насос запаяний в капсулу, в якій підтримується вакуум, а стінки капсули виготовлені зі спеціального матеріалу, проникного тільки для атомів гелію. Вимірювання таким течешукачем відбувається шляхом аналізу іонного струму, який виникає при іонізації атомів гелію.
Течешукачі з мас-спектрометричним детектором. Прилад надвисокої чутливості, в якому робочу функцію по детектуванню виконує мас- спектрометр, налаштований на виявлення гелію. Принцип роботи такого течешукача базується на властивостях гелію: легку проникність і складну відкачку газу. Відповідно до даного принципу маємо два основних режими роботи: в зворотньому потоці та прямоточний.
- При режимі зворотнього потоку робоча камера, або ж зовнішній щуп (в залежності від методу виміру) підключаються до робочого порту течешукача, який відкачується форвакумним насосом. Цей же насос відкачує турбомолекулярний насос під’єднаний до мас-спектрометра. Після обдуву камери гелієм, детектування відбувається довгим шляхом: з робочого порту через форвакуумний насос гелій потрапляє до турбомолекулярного насоса і далі до мас- спектрометра (увесь час йдучи проти потоку відкачування). Це метод низької чутливості (граничні значення досягають 10-8 мбар∙л/с) і використовується за наявності великої течі в системі.
- Для використання мас-спектрометричного детектора в прямоточному режимі відкачування робочого порту відбувається турбонасосом, відповідно гелій при потрапляння до детектора проходить менший шлях (робочий порт – турбонасос – мас-спектрометр). Такий режим роботи дозволяє досягати гранично високих значень детектування натікання до 10-12 мбар∙л/с
Інноваційна серія течошукачів HLD, представлена на ринку в 2018 році компанією Agilent Vacuum Technologies Inc. Дані течешукачі розроблені для виявлення витоків загального призначення, доступний в декількох конфігураціях для вирішення широкого кола завдань.
Течешукачі нової серії HLD оснащені дисплеєм на 8.4 “, (удвічі більше, ніж у моделей серії VS) з можливістю обертатися на 1800. Моделі HLD легкі, придатні для переміщення так як мають в своїй конструкції поворотні колеса. Повністю закритий дизайн з простим доступом для технічного обслуговування. У 6 разів збільшена робоча площа для інструментів і аксесуарів.
Розширені графічні можливості дозволяють відображати діапазони різними кольорами, відображати графіки натікання і тиску, які можливо збільшити для детальної перевірки даних. Вдосконалений інтерфейс: шість програмованих налаштувань для автоматизації, наявні спрощення, в порівнянні з попередніми версіями даної серії, полегшують роботу як для нових так і для досвідчених користувачів.
Вдосконалений автоматизований процес безпечного відключення турбомолекулярного насоса з можливістю збереження вакууму в спектрометрі, майстер автоматичних налаштувань при першому запуску. Швидкознімний затиск на вимірювальному фланці для простоти і зручності приєднання.
Забезпечена портативність, рухливість. Можлива конфігурація для настільного використання. Представлені конфігурації: вакуумні вимірювання або ж вимірювання зі щупом.
Можливі конфігурації насосів: сухі спіральні і масляні пластинчато-роторні з продуктивністю від 2 до 30 м3/год, придатний для перевірки великих камер або малих вузлів. Можлива конфігурація з новим пластинчато-роторний насос DS 602RVP з продуктивними в 30м3/ч
Галузь застосування:
- Напівпровідникова промисловість.
- Вакуумні установки наукового і промислового використання.
- Вакуумні печі.
- Контроль герметичності гібридних інтегральних схем.
- Установки з нанесення покриття.
- Можливість вбудовування в автоматичні лінії контролю.
Технічна специфікація
| Модель | PR02 / PD03 | BR15/MR15 | BD30/MD30 |
|---|---|---|---|
| Варіанти конфігурації: | Настільний | Настільний або на візку | |
| Пластинчато-роторний вакуумний насос: | DS-40М, 2 м3/час (34 л/хв) | DS-302 15м3/час (250 л/хв) | DS 602, 30м3/час (500 л/хв) |
| Спіральний вакуумний насос: | IDP-3, 3 м3/час (50 л/хв) | IDP-15, 15м3/час (250 л/хв) | TS-620 30м3/час (500 л/хв) |
| Найменший поріг детектування по гелію(1000 ppm): | 5 x 10-12 мбар*л/сек | 5 x 10-12 мбар*л/сек | |
| Максимальний тиск: | 13 мбар, 10 Торр, 1330 Па | 13 мбар, 10 Торр, 1330 Па | |
| Швидкість відкачування гелію: | 1.8 л/с | 6 л/сек - в режимі Contra flow в модифікації MD 30 | |
| Калібровка: | |||
| Корекція дрейфу нуля: | |||
| Зовнішній інтерфейс: | |||
| Час відгуку: | |||
Гелієвий течешукач VS-C15 виробництва Agilent Vacuum Technologies це модульний пакет для вбудовування в робочі вакуумні системи, забезпечує постійний контроль витоків у вмонтованих компонентах. Він включає в себе вакуумну конструкцію Agilent Contra-Flow, яка забезпечує максимальний захист його компонентів від забруднення в промислових умовах. Течешукач VS-C15 має в два рази менші габарити, ніж у конкуруючих детекторів даного типу. Можлива конфігурація з додатковим сенсорним екраном, який доступний для віддаленого відображення всієї інформації про стан системи і виведення всіх робочих параметрів. Найбільш повний набір опцій протоколу передачі даних, включаючи послідовний, дискретний ввід / вивід і Profinet.
Оновлена конструкція тільки з двома важливими кабелями, для живлення і для передачі даних дозволяє забезпечити простий монтаж детектора, без додаткових модулів, дорогих кабелів для підключення, які сьогодні присутні стандартно в багатьох подібних течешукачах. Критичні вузли детектора VS-C15 міцно зібрані в одному корпусі, який захищає їх від забруднень на робочому місці. Така компактна і проста конструкція дозволяє легку інтеграцію детектора в багатокомпонентну вакуумну система.
Технічна специфікація
| Agilent VS C15 | |
|---|---|
| Найменший поріг детектування: | 5 x 10-11 Па*м3/сек |
| Тип високовакуумного насосу: | Турбомолекулярний насос Turbo-V 81-M |
| Тип форвакуумного насосу: | Відсутній |
| Варіанти конфігурації: | настільний |
| Діапазон чутливості: | Вибір до 4 робочих діапазонів чутливості в межах від 1 x 10-4 Па*м3/сек до 1 x 10-10 Па*м3/сек |
| Максимальний тиск: | 7 мбар, 5 Торр, 667 Па |
| Калібровка: | Автоматична або ручна (внутрішня або зовнішня) |
| Корекція дрейфу нуля: | Можна вибирати спосіб корекції фону з унікальним "auto zero < zero" алгоритмом |
| Час відгуку: | < 0.5 сек |
| Вбудований інтерфейс: | RS 232 (DB-9M) |
| Керуючий інтерфейс: | Profinet® I/O option (RJ45) |
| Споживана потужність: | 24VDC: ±5%; Max current: 4A (Molex 03-12-1036) |
| Швидкість відкачування по гелію: | 6 л/сек - в режимі ContraFlow |
Портативний гелієвий детектор PHD-4 від компанії Agilent Vacuum Technologies Inc здатний виявляти дуже маленькі витоку в об’єктах, які мають невеликий тиск гелію / повітря всередині. Легкий і міцний аналізатор чутливий до концентрацій гелію в розмірі всього 2ppm, що еквівалентно величині витоку в 5×10-6atm-cc / sec. Така висока чутливість PHD-4 базується на інноваційній запатентованої технології Agilent SIPD – селективність по гелію, що дозволяє «помічати» витік гелію і ігнорувати всі інші гази. Принцип роботи цієї технології побудований на проникності до гелію нагрітої до відповідної температури особливої кварцової мембрани, при цьому вона прониклива тільки для атомів гелію, і непроникна для інших газів. Детектор виявляє гелій і відправляє сигнал, сила якого пропорційна кількості гелію, який пройшов через кварцову мембрану. Амплітуда сигналу відповідає величині витоку. Зручною функцією детектор PHD-4 є можливість регулювання чутливості до гелію в міру необхідності, щоб мінімізувати витрати на тестування і споживання гелію.
Оскільки PHD-4 керується мікропроцесором, він простий у використанні, не вимагає додаткового навчання. Всі настройки і обнулення обробляються автоматично, готовність до тестування складає менше 3 хвилин.
Портативний течешукач PHD-4 важить всього 2,6 кг (5,7 фунтів) включаючи батарею. Може працювати від батареї або від мережі. Акумулятор забезпечує тривалість автономної роботи течешукача до чотирьох годин. Такі габарити і умови роботи значно полегшують роботу в польових умовах.
Широкий спектр застосування – може використовуватися замість чи разом з методами виявлення такими як: “бульбашковий тест” або “виявлення при зниженому тиску”. Працюючи за методом “обнюхування щупом” дозволяє точно виявити місце розташування витоку.
Застосування:
АЕС, ТЕС. Можливість знаходження витоків в недоступних оператору місцях дозволяють застосовувати течешукач PHD-4 при контролі безпеки реакторів в критичних вузлах, великих теплообмінників і пароконденсаторах.
Нафтовидобувна і нафтохімічна галузі. Контроль ізольованих ємностей, для забезпечення екологічних норм безпеки на виробництві.
Авіаційна та космічна галузі: Забезпечуючи контроль виробництва важливих вузлів і швів на герметичність.
Технічна специфікація
| PHD-4 | |
|---|---|
| Поріг виявлення (гелій): | 2 ppm (часток на мільйон) |
| Найменший поріг виявлення витоків: | 5 х 10-7 Па•м3/сек |
| Час попереднього тесту: | 3 хв ( при ввімкненні) |
| Блок живлення: | 12 В постійного струму, 1.2 А 110-240 В 50-60 Гц |
| Час роботи без підзарядки акумулятора: | 4 год |
| Максимальний дрейф відгуку: | Максимальний 10 ppm за кожні 10 хв |
| Температура: | +5 °С до +35°С |
| Вологість: | 90% |
| Вага: | 2.6 кг |
| Час відгуку: | < 2 сек |