Вакуумні датчики

Вакуумметри компанії Agilent є надійними, точними і економічними інструментами для вимірювання тиску в широкому діапазоні додатків.
Компанія Agilent відводить важливе місце технологіям вимірювання тиску, які призначені для сучасних промислових середовищ. Простота, міцність конструкції і легкість обслуговування гарантують максимальну продуктивність і час безвідмовної роботи в вакуумних системах або системах вакуумної обробки.
Широкий діапазон контролерів, вакуумних датчиків Agilent забезпечує можливість вибору оптимального контролера для управління датчиком і реєстрації вимірювань. Контролери є простими у використанні, мають можливість підключення до 4х датчиків з гарячим катодом і до 12 форвакуумних і програмований інтерфейс з підключеннями RS232 або RS458.
Для вимірювання в кількох діапазонах вакууму можна використовувати як вузько діапазонні вакуумметри, окремо для кожної задачі, так і універсальні, широкодіапазонні.Для вимірювання низького вакууму можна використовувати термопарні датчики, датчики типу Пірані і Convectorr, які оперують від атмосфери до 1мТорр, ємнісно-діафрагмені датчики (вимірюють до 10 мТорр) Для високого і надвисокого вакууму, датчики з холодним катодом-датчики з інвертованим магнетроном, або датчики з гарячим катодом, датчики типу Байярда-Альперта (від 10-3 до 10-11 Торр)
датчик PVG

Датчик PVG-500/ PVG-500S / PVG-502S

Серія датчиків Пірані PVG-500 використовує вдосконалену цифрову технологію Пірані та чутливий елемент з нержравіючої сталі, що дозволяє задовольнити різні потреби сьогоднішнього ринку.
Межі вимірюванняТочність вимірюванняДисплейЧас відгукуФланецьВагаКонтролер
1000 – 5 х 10-4±15% - 1 x 10-3 – 100 мбар
±50% - 5 x 10-4 – 1 x 10-3 мбар
±50% - 100 – 1000 мбар
-80 мсекKF1680 грXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
датчик CDG

Датчик моделі CDG-500

Серія датчиків CDG-500 з ємнісною діафрагмою і температурною компенсацією забезпечують високий рівень точності в області високих тисків. Датчики моделі CDG-500 використовують корозійно-стійку надчисту алюмооксидну керамічну діафрагму, яка забезпечує виключну стабільність сигналу, швидке відновлення після дії атмосферного тиску, швидкий прогрів і високу надійність.
Межі вимірюванняТочність вимірюванняДисплейЧас відгукуФланецьВагаКонтролер
1000 Торр
100 Торр
10 Торр
1 Торр
±0,2%
±0,2%
±0,2%
±0,2%
-30 мсекKF1680 грXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
датчик PCG

Датчики моделі PCG-750 / PCG-752

Серія датчиків Пірані PCG – 750 / PCG – 752 компанії Agilent поєднують сучасні технології, надійність та компактність конструкції прибору. Модель PCG – 750 та PCG – 752 використовує вдосконалену цифрову технологію Пірані та діафрагменного датчика, що дозволяє задовольнити різні потреби сьогоднішнього ринку. Програмований вбудований інтерфейс RS 232 або FCC 8 pin.
Межі вимірюванняТочність вимірюванняДисплейЧас відгукуФланецьВагаКонтролер
1500 – 5 х 10-5±50% - 5 x 10-5 – 1 x 10-3 мбар
±15% - 1 x 10-3 – 100 мбар
±5% - 100 – 950 мбар
±2,5% - 950 – 1050 мбар
опціонально30 мсекKF1680 грXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
датчик FRG

Датчики моделі FRG-700/FRG-702

Датчики серії FRG-700 та FRG-702 ( всі моделі з металу) компанії Agilent являються серією датчиків, які реалізують два методи вимірювань в одному, компактному і економічному комплекті для вимірювання технологічного і базового тиску від 5x10-9 мбар до атмосферного, Компактний одиничний модуль, який передає один логарифмічний аналоговий вихідний сигнал, дозволяє суттєво зменшити об’єм робіт по монтажу, налаштуванню та інтеграції. Програмований вбудований інтерфейс FCC 8 pin.
Межі вимірюванняТочність вимірюванняДисплейЧас відгукуФланецьВагаКонтролер
1000 – 5 x 10-9 мбар±30%-0,2 секKF25/CFF40730 грXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
датчик FRG

Датчики моделі FRG-720/FRG-730

Датчики FRG-720 та FRG-730 компанії Agilent являються комбінованими датчиками Пірані та Баярд-Альперта, виконаними в одній компактній конструкції, яка дає можливість проведення вимірів в діапазоні від 5x10-10 мбар до атмосферного тиску. Об’єднання цих технологій в одному модулі спрощує використання та усуває проблем при інтеграції, одночасно захищаючи чутливий елемент Баярд-Альперта від передчасного перегорання. Програмований вбудований інтерфейс RS 232 або FCC 8 pin.
Межі вимірюванняТочність вимірюванняДисплейЧас відгукуФланецьВагаКонтролер
1000 – 5 x 10-10 мбар±15% - 10-8 – 10-2 мбаропціонально0,2 секKF25/CFF40285 грXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Блок живлення
датчик ConvecTorr

Низьковакуумні датчики

Унікальний датчик ConvecTorr компанії Agilent виконаний з нержавіючої сталі, містить тепловий датчик з підтримкою конвекції, яка має чутливий елемент з чудовими робочими характеристиками(від 10-4 Торр до атмосферного тиску) при постійній температурі.
Датчик ConvecTorr дозволяє виконувати точні виміри тиску у всьому діапазоні форвакууму при виключно швидкому відгуку (0.2 сек) і забезпечує чудове зчитування показчиків тиску при високому вакуумі завдяки тепловій стабільності чутливого елементу.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
ConvecTorrKF16 / KF25 / CFF161 x 10-4 Торр - АтмXGS-600
термопарний датчик 536
Вимірювальна трубка термопарний датчик 536 виконана з зварної нержавіючої сталі марки 304, яка використовувалась для моделі 531, з додатковою перегородкою, яка значно продовжує строк служби датчика, який, в іншому випадку, піддається дії конденсуючого газу. Термопара і нагрівальний елемент виконані з благородних металів з ціллю мінімізації дії будь-яких забруднень датчика на його робочі характеристики.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірюванняРекомендований контролер:
536KF16 / KF25 / CFF161 x 10-3 Торр - АтмXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Термопарний датчик 531
Термопарний датчик 531 являється перевірений часом, економічним рішенням для неперервних і точних вимірів форвакуумних тисків в діапазоні від 10-3 до 2.0 Торр ( від 10-3 до 2.7 мбар). Являється міцним і зносостійким датчиком, не схильний до впливу вибраного при монтажі розміщення.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
531KF16 / KF25 / CFF161 x 10-3 Торр - АтмXGS-600 / RGC-100 / RGC-150
Датчик 572

Високовакуумні датчики

Датчик 572 являється високопродуктивним датчиком з широким діапазоном лінійного відкугу від 2х10-10 до 103 Торр. Він розрахований на довготривалі періоди дегазації і на використання простих зовнішніх перемикачів ниток без нанесення збурень в вакуумну систему. Датчик 572 сумісний практично з всіма контролерами іонізаційних датчиків тиску з термоелектронними катодами.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
572KF25 / KF40 / CFF40 / труба2 x 10-10 Торр - 1 x 10-3ТорXGS-600
Датчик 571
Датчик 571 володіє високою продуктивністю і широким робочим діапазоном (2x10-10 – 1x10-3 Торр). Це міцний датчик, який може витримувати довготривалі періоди дегазації або випадкові впливи атмосферного тиску при робочій температурі і відновлювати після цього початкові характеристики.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
571KF25 / KF40 / CFF40 / труба4 x 10-10 Торр - 5 x 10-1 ТоррXGS-600
Датчик 563
Датчик 563 являється міцним датчиком з широким діапазоном лінійного відкугу: 2x10-10 – 1x10-3 Торр. Платинове внутрішнє покриття колби екранує елементи датчика від електростатичний розрядів при низькому тиску і відводить статичні розряди, які можуть накопичуватись при наявності високого тиску.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
563KF25 / KF40 / CFF40 / труба2 x 10-10 Торр - 1 x 10-3 ТоррXGS-600
Датчик  MBA-100
Датчик MBA-100 являється компактним суцільнометалевим датчиком області високого вакууму для виконання прецизійних вимірювань там, де їх повторюваність має значення, наприклад для лабораторних вакуумних систем, мас-спектрометрів, електронних мікроскопів та наукової апаратури. Нагріта нитка являється постійним джерелом електронів для іонізації газу, забезпечуючи чудову точність і стабільність, а виміри охвачують діапазон від 1x10-2 до 1x10-9 Торр. Унікальна технологія травлення решітки фірми Agilent забезпечує чудову продуктивність екземплярів датчика, а невелика внутрішня площа поверхні потребує мінімальної дегазації для забезпечення точності та захисту експериментального процесу.
Датчик MBA-100 являється невеликим і міцним пристроєм, який дозволяє без затрат праці виготовляти установку в щільно змонтовані системи. Електричний роз’єм який закривається гарантує щільний контакт, а пластмасовий корпус захищає персонал і розміщене поблизу обладнання від тепла. Металічний корпус забезпечує екранування від електричних перешкод, підтримуючи високу стабільність роботи датчика. Покрита двоокисом торію іридієва нитка являється досить стійкою до вигорання, навіть в випадку випадкової дії на неї зовнішнього повітря.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
МВА-100KF25 / KF40 / CFF401 x 10-9 Торр - 5 x 10-2 ТоррXGS-600
Датчик МВА-200
Модель МВА-200 з подвійною ниткою поставляється для найбільш важливих додатків – запасна нитка дає можливість проведення неперервних вимірів тиску до наступного планового технічного обслуговування.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
МВА-200KF25 / KF40 / CFF401 x 10-9 Торр - 5 x 10-2 ТоррXGS-600
Датчик IMG-100
Датчик IMG-100 являється міцним і точним датчиком високого вакууму, має швидкий запуск, чудову точність та продуктивність результатів в проблемних середовищах. IMG-100 ідеально підходить для промислових рішень, як усадка металу, нанесення скловидного покриття, для вакуумних та дегазаційних печей, а також зварювальних апаратів які використовують електронні пучки. Ця проста конструкція не потребує нагрітої нитки, через це модель IMG-100 має виключно великий термін служби, його легко обслуговувати, і він допускає раптові або часті впливи з боку атмосфери. Більше того, відсутній ризик виділення тепла з датчика, яке в свою чергу могло вплинути на важливі експериментальні або технологічні процеси.
Компактні розміри дають можливість установки датчика при різній орієнтації, а роз’єм високої напруги що замикається для роботи в надвисокому вакуумі забезпечує безпечний і щільний електричний контакт. Прецизійна конфігурація магнітного поля обмежує розсіювання іонізованих молекул газу, забезпечує точні виміри, тому емісія розсіяних електронів і фотонів зведена до мінімуму.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
IMG-100KF25 / KF40 / CFF405 x 10-9 Торр - 1 x 10-3 ТоррXGS-600
Датчик IMG-300

Надвисоковакуумні датчики

Датчик IMG-300 суміщує можливість точних вимірів надвисокого вакууму з швидким відгуком на зміну тиску. Конфігурація магнітного поля забезпечує чудову чутливість при надвисокому вакуумі і дозволяє запускати пристрій протягом 30 сек при тиску 1х10-10 Торр (мбар). Датчик не використовує нагріту нитку і потребує мінімального часу для дегазації, що може погіршити відгук на зміну тиску. В датчику також відсутня емісія електронів або фотонів, які могли б завадити проведенню експериментального процесу.
Суцільнометалева конструкція датчика , стійка до радіації, дозволяє проводити нагрів до 250°С під час роботи, роз’єм що закривається на засувці для роботи в умовах високого вакууму забезпечує безпечний і щільний електричний контакт. Також поставляється радіаційно та термостійкий кабель.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
IMG-300CFF405 x 10-11 Торр - 1 x 10-3 ТоррXGS-600
Датчик UHV-24
Датчик UHV-24 являється іонізаційним датчиком типу Байярда-Альперта, який використовує технологію травлення решітки для забезпечення широкого діапазону вимірів з ефективністю іонізації (чутливістю) яка не менш ніж в 2 рази перевершує звичайні іонні датчики тиску. UHV-24 придатний для роботи з дотатками, в яких однаково важлива точність і відтворюваність вимірів. Нагріта нитка являється постійним джерелом електронів для іонізації молекул газу, що забезпечує точні і стабільні результати.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
UHV-24CFF402 x 10-11 Торр - 1 x 10-3 ТоррXGS-600
Датчик UHV-24р
Модель UHV-24р являється варіантом моделі UHV-24, призначеним для вимірювання тиску в розширеному діапазоні від 5х10-12 до 1х10-3 торр ( від 6.7х10-12 до 1х10-3 мбар). Моделі UHV-24 та UHV-24р мають фланець Con Flat з розрахунком на довгий період служби іридієвої нитки , покритою двоокисом торію або вольфраму, яку без зусиль можна замінити в робочих умовах.
Модель датчика:Фланець:Межа вимірювання:Рекомендований контролер:
UHV-24рCFF402 x 10-12 Торр - 1 x 10-3 ТоррXGS-600

Контролери вакууму

Вакуумметри і контролери компанії Agilent являються надійними, точними і економічними інструментами для вимірювання тиску в широкому діапазоні додатків.
Компанія Agilent відводить важливе місце технологіям вимірювання тиску, які призначені для сучасних промислових середовищах.
Простота, міцність конструкції та простота в обслуговуванні гарантують максимальну продуктивність і час безвідмовної роботи в вакуумних системах або системах вакуумної обробки.
Контролер XGS 600

XGS 600

Контролер XGS 600 для підключення низько вакуумних, високо вакуумних та активних датчиків фірми Agilent, використовуючи всього три плати датчиків: для низько вакуумних датчиків, високо вакуумних датчиків або над високо вакуумних датчиків.
Можливість виводити на дисплей дані від 8 датчиків або вивід на екран даних від двох датчиків великим шрифтом, які видно з 5 метрів, та оновлення екрану кожні 200 мсек. Швидкодія менше 20 мілісекунд – ідеально для керування швидкісними клапанами. Одночасно може працювати з 5-ти датчиками IMG ( інвертований магнетрон з холодним катодом). Контролер XGS-600 відповідає вимогам багатьох стандартів, система охолодження знижує навантаження на компоненти і забезпечує роботоспроможність і надійність.
Може одночасно працювати з:
4 датчиками типу BA і 4 типу Convec Torr ( або 4 датчиками типу IMG і 4 типу ConvecTorr).
5 датчиками іонізаційного типу( 5 датчиків типу ВА або 4 термопарними датчиками і датчиком типу IMG).
12 датчиками типу ConvecTorr.
12 активними датчиками компанії Agilent.
8 контрольних точок.
Контролер AGD-100

AGD-100

Контролер AGD-100 являється економічним одноканальним пристроєм відображення для серії активних датчиків FRG-700/ FRG-702, PVG-500/PVG-500S/PVG-502S або PCG-750/PCG-752. LED дисплей та зручні для користування одиниці вимірів (мбар, Торр, Па).
Контролер AGС-100 являється одноканальним пристроєм відображення для серії активних датчиків FRG-700/ FRG-702, PVG-500/PVG-500S/PVG-502S або PCG-750/PCG-752. LED дисплей та зручні для користування одиниці вимірів (мбар, Торр, Па). Здатний автоматично ідентифікувати підключений активний датчик.
Контролер RGC-100

RGC-100

Контролер RGC-100 компанії Agilent для форвакуумного діапазону тисків являється економічним рішенням для вимірів тиску в діапазоні від 1х10-3 до 760 Торр. Комплект RGC-100 включає в себе термопарні датчики моделі 531 або 536 і кабелі для реалізації первинної калібровки, яка необхідна для вимірювання форвакуумного тиску. Використовується для загальних вимірів параметрів вакууму та контролю в форвакуумному діапазоні. Моніторинг форвакуумних ліній, камер для відкачування і перехідних пристроїв для насосів високого вакууму
Контролер RGC-150

RGC-150

Контролер RGC-150 компанії Agilent для форвакуумного діапазону тисків являється економічним рішенням для вимірів тиску в діапазоні від 1х10-3 до 760 Торр. Комплект RGC-100 включає в себе термопарні датчики моделі 531 або 536 і кабелі різної довжини для реалізації первинної калібровки, яка необхідна для вимірювання форвакуумного тиску. Моніторинг форвакуумних ліній, камер для відкачування і перехідних пристроїв для насосів високого вакууму.