Іонні насоси та контролери

Іонні насоси

Іонні насоси

З кінця 1950-х років, коли іонні насоси були розроблені фірмою Agilent, в них було внесено багато змін і зроблені значні технічні поліпшення. Фактично, і в подальшому більшість нововведень була запропонована фахівцями фірми Agilent, починаючи з першої діодної схеми іонного насоса, потім тріодної схем из її найбільш ефективною запатентованою модифікацією StarCell, так само сімейство насосів Vacion Plus. Такі параметри, як робочий діапазон тиску, склад відкачуваної газової суміші і максимальний стартовий тиск, можуть вимірюватись в широких межах, тому існує необхідність підбирати насос, орієнтуючись на конкретну задачу.
Насоси лінійки Vacion Plus при тиску 10-6 Торр мають номінальний ресурс роботи 80 000 годин. Всі елементи цієї лінійки насосів розроблені з метою мінімізації викривлення катоду, ізолятори захищені від осідання розпилених атомів титану, завдяки використанню замкнутого дизайну і захисного екрану.
Розмір і геометрія комірок оптимізовані для забезпечення максимальної інтенсивності розряду і швидкості відкачування. Насоси мають широкий діапазон швидкостей відкачування від 0.4 л/с до 1000 л/с. Три типи елементів ( Diode, Noble Diode, StarCell ) дозволяють забезпечити відкачування різних газових сумішей і дають можливість оптимізації для кожної конкретної задачі.
Кожен іонний насос поставляється відкачаним до глибокого вакууму, що гарантує високу якість виготовлення і чистоту насосу. Таким чином, насос інтегрується у вакуумну систему без додаткової підготовки з гарантією чистоти системи. Конструкція керамічного ізолятора зменшує наростання провідного шару, який утворюється при напилювання титанового катоду, це забезпечує збільшення терміну служби насосу.
Вхідний фланецьТипШвидкість відкачуванняМакс.стартовий тискМакс. температура відпалуВага, кг
VacIon Plus 0,43/8" ODDiode0,4 л/сек (N2)1 x 10-4 мбар150°C0,3
VacIon Plus 23/4" ODDiode2 л/сек (N2)1 x 10-4 мбар150°C0,3
VacIon Plus 82 3/4" CFFDiode8 л/сек (N2)1 x 10-4 мбар350°C4
VacIon Plus 202 3/4" CFFStarCell
Noble
Diode
Diode
20 л/сек (N2)
22 л/сек (N2)
27 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C7
VacIon Plus 402 3/4" CFFStarCell
Noble Diode
Diode
34 л/сек (N2)
36 л/сек (N2)
40 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C17
VacIon Plus 554 1/2" CFFStarCell
Noble Diode
Diode
50 л/сек (N2)
53 л/сек (N2)
55 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C18
VacIon Plus 756" CFFStarCell
Noble
Diode
Diode
65 л/сек (N2)
68 л/сек (N2)
75 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C19
VacIon Plus 1506" CFFStarCell
Noble
Diode
Diode
125 л/сек (N2)
135 л/сек (N2)
150 л/сек (N2)
5 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C43
VacIon Plus 2008" CFFStarCell
Noble
Diode
Diode
180 л/сек (N2)
185 л/сек (N2)
200 л/сек (N2)
1 x 10-4 мбар
1 x 10-5 мбар
1 x 10-5 мбар
350°C51
VacIon Plus 3008" CFFStarCell
Noble
Diode
Diode
240 л/сек (N2)
260 л/сек (N2)
300 л/сек (N2)
1 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C69
VacIon Plus 5008" CFFStarCell
Noble
Diode
Diode
410 л/сек (N2)
440 л/сек (N2)
500 л/сек (N2)
1 x 10-2 мбар
1 x 10-3 мбар
1 x 10-3 мбар
350°C120
VacIon Plus 100012" CFFStarCell
Diode
800 л/сек (N2)
1000 л/сек (N2)
1 x 10-4 мбар
1 x 10-5 мбар
350°C265
Контролер 4UHV

Контролер 4UHV

Контролер 4UHV призначений для керування відразу чотирма іонними насосами серії VacIon Plus Diode, Noble Diodе та StarCell та швидкістю відкачування від 20 до 500 л/сек. Великий LCD екран одночасно відображує напругу, струм і тиск чотирьох працюючих іонних насосів. Різноманітне меню та вбудований інтерфейс RS 232 контролера 4UHV дозволяє оперативно та якісно слідкувати за роботою насосів VacIon Plus. Є можливість підключати датчики тиску для відображення на екрані глибини вакууму.
Вхідна напругавід 90 до 130 В або від 180 до 265 В
Вхідна частотавід 47 до 63 Гц
Розміривисота - 177 мм, ширина - 211,4 мм, довжина - 440 мм
ДисплейLCD екран на 4 стрічки
Мінімальна конфігураціяОдин високовакуумний вхід, Set Point, Remote Control Card
Максимальна конфігураціяЧотири високовакуумних входи, Set Point, Remote Control Card, інтерфейс RS 232, інтерфейс для підключення датчиків Eyesys Mini Ba або Eyesys ConvecTorr
Вихідна напругаПрограмована в діапазоні ± 3000 В и ± 7000 В
Вихідний струмПрограмований в діапазоні 100 и 400 мА
ПотужністьПрограмована в діапазоні 100 и 400 Вт
Читання параметрів на екраніВихідна напруга, Тиск(Па, мбар, Торр), Струм
Контролер 4UHV

Контролер MiniVac

Контролер MiniVac – економний варіант для керування іонними насосами серії VacIon Plus типу Diode, Noble Diode та Star Cell та швидкістю відкачування від 20 до 500 л/сек. Дуже компактний та легкий, також може бути вмонтований в стійку Rack. Контролер MiniVac спеціально розроблений для витримки постійного неперервного коливання при короткому замиканні, без пошкоджень для іонного насосу або самого себе.
Вхідна напругавід 90 до 130 В або від 180 до 240 В або 24 В
Вихідна напруга± 5000 В
Вихідний струм15 мА
Вихідна потужність21 Ватт (при 3 кВ і 7 мА)
Передня панельHV ON, HIGH LOAD та POLARITY LEDs
Лінійна шкала індикації струму та напруги
Задня панель9-пін коннектор з наступними сигналами та командами запису на виході
0 до + 5 В, лінійний пропорційний до HV (1 В = 1 кВ)
0 до + 10 В, лінійний пропорційний до струму(10 В = 10 мА)
0 до + 10 В, лінійний пропорційний до струму (10 В = 1 мА)
Remote HV ON/OFF - інтерлок
HV ON сигнал підтвердження : Максимальна допустима потужність - 1 А - 250 В; 0,2 А - 30 В
Контролер 4UHV

Контролер TSP

Контролер TSP керує титаново сублімаційним насосом з ниткою нагріву або з TiBall. Має різні інтерфейси RS 232/422/485, з можливістю вибору автоматичної або ручної роботи. Компактний та має можливість встановлюватись в стійку Rack.