Відкачувальні пости TPS

Відкачувальний пост TPS-COMPACT

Новий відкачувальний пост моделі TPS- Compact ( Turbo Pumping System) фірми Agilent Technologies дозволяє забезпечити відкачування зразу після підключення.
Портативне, повністю інтегроване рішення, яке поставляється в виді настільної безмасляної системи малої ваги, призначене для невеликих і середніх об’ємів виробництва або для рішень, які потребують високу продуктивність, дозволяє працювати в широкому діапазоні швидкостей відкачування.
Відкачувальний пост в модифікації на базі турбомолекулярного насосу Turbo-V 81-M або насосу Turbo-V 301 та форвакуумного безмасляного спірального насосу IDP-3.
Має аналоговий або RS-232 інтерфейси зв’язку. Дисплей для відображення показів тиску.
TPS-Compact

Технічна характеристика TPS-Compact на базі турбомолекулярного насосу TwisTorr 84 FS

Модифікація фланцівNW 40ISO 63CFF 40CFF 63
Швидкість відкачування по Азоту, (N2), л/сек40774077
Максимальний тиск, мбар1 х 10-81 х 10-9
Час запуску, сек144
Час відкачування об’єму 15 літрівДо 100 мбар – 46 сек, до 1.3 х 10-5 мбар – 400 сек
ІнтерфейсRS 232
Можливість підключення датчикаАктивний датчик FRG-700 з фланцем KF 25 / CFF 40, в діапазоні вимірювання від 1000 мбар до 5 х 10-9 мбар
Програмне забезпеченняT-Plus
Ізоляційний клапанНаявний
Вага, кг16.7

Технічна характеристика TPS-Compact на базі турбомолекулярного насосу TwisTorr 304 FS

Модифікація фланцівNW 100ISO 160CFF 100CFF 160
Швидкість відкачування по Азоту, (N2), л/сек250280250280
Максимальний тиск, мбар1 х 10-81 х 10-9
Час запуску, сек150
Час відкачування об’єму 15 літрівДо 16 мбар – 80 сек, до 1 х 10-5 мбар – 200 сек
ІнтерфейсRS 232
Можливість підключення датчикаАктивний датчик FRG-700 з фланцем KF 25 / CFF 40, в діапазоні вимірювання від 1000 мбар до 5 х 10-9 мбар
Програмне забезпеченняT-Plus
Ізоляційний клапанНаявний
Вага, кг20.1

Відкачувальний пост MINI TASK

Відкачувальний пост моделі Mini Task фірми Agilent Technologies на базі турбомолекулярного насосу TwisTorr 84 FS та безмасляного діафрагмового насосу MD 1. Має Аналоговий або RS-232 інтерфейси зв’язку, плату керування вакуумметром високого вакууму та дисплей для відображення показів тиску. Має малу вагу та легко переноситься в невеликому робочому просторі.
TPS-Compact

Технічна характеристика TPS-Compact на базі турбомолекулярного насосу TwisTorr 84 FS

Модифікація фланцівKF 40ISO 63CFF 63
Швидкість відкачування по Азоту, (N2), л/сек406060
Максимальний тиск, мбар2 х 10-75 х 10-8
Час запуску, сек122
Час відкачування об’єму 1 літрівДо 17 мбар – 60 сек, до 5 х 10-5 мбар – 140 сек
ІнтерфейсRS 232
Можливість підключення датчикаАктивний датчик FRG-700 з фланцем KF 25 / CFF 40, в діапазоні вимірювання від 1000 мбар до 5 х 10-9 мбар
Програмне забезпеченняT-Plus
Вага, кг7.5

Відкачувальний пост TPS-MOBILE

Відкачувальний пост моделі TPS-Mobile фірми Agilent Technologies дозволяє забезпечити відкачування зразу після підключення. Являється мобільним ( рухомим ) відкачувальним постом в модифікації до 15 можливих конфігурацій на базі турбомолекулярних насосів TwisTorr 84 FS, TwisTorr 304 FS, Turbo-V 551 Navigator та форвакуумними насосами (IDP-3, SH-110, PTS 300/600) або пластинчасто-роторними насосами моделей (DS 42, DS 102, DS 202, DS 302 та DS 402).

Відкачувальний пост TPS-MOBILE комплектується з 15 стандартних конфігурацій.

Високовакуумні фланці: KF 40, ISO 63, CFF 40, CFF 63, ISO 100, CFF 100, ISO 160, CFF 160
Відкачувальний пост TPS-Mobile

Відкачувальний пост TPS-Mobile на базі турбомолекулярних насосів TwisTorr 84 FS, TwisTorr 304 FS, Turbo-V 551 Navigator

TwisTorr 84 FSTwisTorr 304 FSTurbo-V 551 Navigator
Високовакуумний фланецьKF 40 / CFF 40ISO 63 / CFF 63ISO 100 / CFF 100ISO 160 / CFF 160ISO 100 / CFF 100ISO 160 / CFF 160
Швидкість відкачування, л/сек
Азот, (N2)57180550
Максимальний тиск
Сухий спіральний насос5 x 10-9 мбар5 x 10-10 мбар5 x 10-10 мбар
Пластинчасто-роторний насос5 x 10-10 мбар
Можливість додаткової комплектації засобами виміру глибини вакууму в діапазоні:
від 1,3 x 10-3 мбар
до 2,6 x 10-9 мбар
Високовакуумний датчик IM-500 з фланцем KF 25 / KF 40 / CFF 40
від 1000 мбар
до 5 x 10-9 мбар
Контролер XGS 600 для підключення низьковакуумного датчика ConvecTorr з фланцем KF 25 та високовакуумного датчика IMG-100 KF 25
від 1000 мбар
до 2,6 x 10-9 мбар
Широкодіапазонний датчик FRG-700 / FRG 720 з фланцем KF 25 / CFF 40
Відкачувальний пост TPS-BENCH

Відкачувальний пост TPS-BENCH

Відкачувальний пост TPS-Bench в модифікації з різних можливих варіантів з новими турбомолекулярними насосами TwisTorr 84 FS та TwisTorr 304 FS та форвакуумних насосів SH-110 або IDP-3. Можливість підключення датчиків тиску та допоміжного обладнання.
Відкачувальний пост TPS-Bench комплектується в таких конфігураціях
    Форвакуумні насоси:
  • Сухий спіральний насос – SH-110 – 90 л/хв.
  • Сухий спіральний насос - IDP-3 – 50 л/хв
  • Пластинчасто-роторний насос – DS-102- 83 л/хв
  • Пластинчасто-роторний насос – DS-202- 138 л/хв
  • Пластинчасто-роторний насос – DS-302- 193 л/хв
    Високовакуумні насоси:
  • Турбомолекулярний насос – TwisTorr 84 FS - 77 л/сек
  • Турбомолекулярний насос TwisTorr 304 FS - 280 л/сек
    Датчики для виміру глибини вакууму:
  • Високовакуумний датчик IM-500 – 1,3 x 10-3 мбар до 2,6 x 10-9 мбар
  • Контролер XGS 600 для підключення низьковакуумного датчика ConvecTorr и високовакуумного датчика IMG-100
  • Широкодіапазонний датчик FRG-700 – 1000 мбар до 2,6 x 10-9 мбар
Високовакуумні фланці: KF 40, ISO 63, CFF 40, ISO 100, CFF 100
TwisTorr 84 FSTwisTorr 304 FS
Високовакуумний фланецьKF40 / CFF40ISO63 / CFF63ISO100 / CFF100ISO160 / CFF160
Швидкість відкачування, л/сек
Азот, (N2)57 л/с180 л/с
Максимальний тиск:
Сухий спіральний насос5.0 x 10-9 мбар (3.75 x 10-9 Toрр)< 1.0 x 10-10 мбар (< 7.5 x 10-11 Toрр)
Пластинчасто-роторний насос5.0 x 10-10 мбар (3.75 x 10-10 Toрр)1.0 x 10-10 мбар (< 7.5 x 10-11 Toрр)
Можливість додаткової комплектації засобами виміру глибини вакууму в діапазоні:
від 1,3 x 10-3 мбар
до 2,6 x 10-9 мбар
Високовакуумний датчик IM-500 з фланцем KF 25 / KF 40 / CFF 40
від 1000 мбар
до 5 x 10-9 мбар
Контролер XGS 600 для підключення низьковакуумного датчика ConvecTorr с фланцем KF 25 и високовакуумного датчика IMG-100 KF 25
від 1000 мбар
до 2,6 x 10-9 мбар
Широкодіапазонний датчик FRG-700 / FRG 720 з фланцем KF 25 / CFF 40
Відкачувальний пост TPS-flexy

Відкачувальний пост TPS-flexy з турбомолекулярним насосомTwisTorr 84 FS та діафрагмовим насосом MD-1

Технічні характеристики
Модифікація фланцівKF40ISO63CFF63
Швидкість відкачування по Азоту,(N2), л/сек385252
Максимальний тиск2 x 10-7 мбар5 x 10-8 мбар
Час запуску122 сек.
Час відкачування об’єму 1 літрдо 17 мбар - 60 сек, до 5 x 10-5 мбар - 140 сек
ІнтерфейсRS 232
Програмне забезпеченняT-Plus
Вага7,9 кг
Відкачувальний пост TPS-flexy

Відкачувальний пост TPS-flexy з турбомолекулярним насосомTwisTorr 84 FS та сухим спіральним насосом IDP-3

Технічні характеристики
Модифікація фланцівISO63CFF63
Швидкість відкачування по Азоту,(N2), л/сек57
Максимальний тиск1 x 10-8 мбар1 x 10-9 мбар
Час запуску144 сек.
Час відкачування об’єму 1 літрдо 100 мбар - 46 сек, до 1.3 x 10-5 мбар - 400 сек
ІнтерфейсRS 232
Програмне забезпеченняT-Plus
Відкачувальний пост TPS-flexy

Відкачувальний пост TPS-flexy з турбомолекулярним насосомTwisTorr 304 FS та сухим спіральним насосом SH-110

Технічні характеристики
Модифікація фланцівISO 100
Швидкість відкачування по Азоту,(N2), л/сек250
Максимальний тиск5 x 10-9 мбар
Час запуску144
Час відкачування об’єму 15 літрівдо 100 мбар - 46 сек, до 1,3 x 10-5 мбар - 160 сек
ІнтерфейсRS 232
Програмне забезпеченняT-Plus
Можливість підключення датчикаАктивний датчик FRG-700
с фланцем KF 25 / CFF 40,
в діапазоні вимірів від 1000 мбар до 5 x 10-9 мбар